[發明專利]一種銅靶材組件中焊層缺陷率檢測的方法

在審

• 申請號: 202010796830.5
• 申請日: 2020-08-10
• 公開（公告）號: CN111796027A
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;雷宇
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: G01N29/04
• 分類號: G01N29/04;G01N29/24;G01N29/28;G01N29/32;G01N29/26;G01N29/22;G01N29/30;G01N1/32
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種銅靶材組件中焊層缺陷率檢測的方法，其特征在于，所述方法包括如下步驟：

(1)表面拋光處理后的銅靶材組件置于水中，對所述銅靶材組件進行水浸式超聲波探傷檢測，所述水浸式超聲波探傷檢測所用超聲波探頭的頻率為1～12MHz；

(2)根據步驟(1)得到的超聲波探傷檢測圖，計算銅靶材組件中焊層的缺陷率。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟(1)中所述拋光處理后銅靶材組件表面的粗糙度Ra＜1.5μm。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，步驟(1)中所述水浸式超聲波探傷檢測所用超聲波探頭的頻率為10MHz；

優選地，步驟(1)中所述水浸式超聲波探傷檢測所用過濾器的頻率為1～12MHz，優選為10MHz；

優選地，所述水浸式超聲波探傷檢測所用過濾器的頻率與超聲波探頭的頻率相同。

4.根據權利要求1～3任一項所述的方法，其特征在于，步驟(1)中所述銅靶材組件置于水中后對銅靶材組件上表面進行擦拭處理；

優選地，所述水浸式超聲波探傷檢測所用的超聲波探頭伸入水中進行檢測；

優選地，對所述伸入水中后的超聲波探頭進行表面擦拭處理。

5.根據權利要求1～4任一項所述的方法，其特征在于，步驟(1)中所述水浸式超聲波探傷檢測的步長為0.5～2.8mm；

優選地，步驟(1)中所述水浸式超聲波探傷檢測所用超聲波探頭的焦距為95～105mm，優選為101.6mm。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，步驟(1)中所述銅靶材組件的直徑為50～240mm，所述水浸式超聲波探傷檢測的步長為0.2～0.9mm，優選為0.5mm；

優選地，所述銅靶材組件的直徑為250～350mm，所述水浸式超聲波探傷檢測的步長為1.0～1.5mm，優選為1.0mm；

優選地，所述銅靶材組件的直徑為360～500mm，所述水浸式超聲波探傷檢測的步長為1.2～2.0mm，優選為1.5mm；

優選地，所述銅靶材組件的直徑為1～4m，所述水浸式超聲波探傷檢測的步長為2.0～2.8mm，優選為2.5mm。

7.根據權利要求1～6任一項所述的方法，其特征在于，步驟(1)中所述水浸式超聲波探傷檢測所用的超聲波探頭與銅靶材組件上表面的距離為50～65mm。

8.根據權利要求1～7任一項所述的方法，其特征在于，步驟(2)中所述計算包括3sigma計算。

9.根據權利要求1～8任一項所述的方法，其特征在于，所述方法包括：先對銅靶材組件的標準樣品進行缺陷率檢測，至所述標準樣品的缺陷率在預設范圍內，再對待測樣品進行缺陷率檢測；否則，調整水浸式超聲波探傷檢測的參數重新對銅靶材組件的標準樣品進行缺陷率檢測；

優選地，所述參數包括超聲波探頭的頻率、過濾器的頻率、超聲波探頭伸入水中的長度、步長或焦距中的任意一種或至少兩種的組合；

優選地，所述預設范圍為10.62～12.32％。

10.根據權利要求1～9任一項所述的方法，其特征在于，所述方法包括如下步驟：

(1)銅靶材組件經表面拋光處理，使銅靶材組件表面的粗糙度為Ra＜1.5μm；所述拋光處理后的銅靶材組件置于水中后對銅靶材組件上表面進行擦拭處理，所述水浸式超聲波探傷檢測所用的超聲波探頭伸入水中進行檢測，對所述伸入水中后的超聲波探頭進行表面擦拭處理再對銅靶材組件進行水浸式超聲波探傷檢測；

其中，所述水浸式超聲波探傷檢測所用超聲波探頭的頻率為1～12MHz，過濾器的頻率為1～12MHz，步長為0.5～2.8mm，超聲波探頭的焦距為95～105mm，所述水浸式超聲波探傷檢測所用的超聲波探頭與銅靶材組件上表面的距離為50～65mm；

(2)根據步驟(1)中所述水浸式超聲波探傷檢測圖，計算銅靶材組件中焊層的缺陷率；

步驟(1)和步驟(2)中先對銅靶材組件的標準樣品進行缺陷率檢測，至所述標準樣品的缺陷率在預設范圍內時，再對待測樣品進行缺陷率檢測，否則，調整水浸式超聲波探傷檢測的參數重新對銅靶材組件的標準樣品進行缺陷率檢測；

所述參數包括超聲波探頭的頻率、過濾器的頻率、超聲波探頭伸入水中的長度、步長或焦距中的任意一種或至少兩種的組合；

所述預設范圍為10.62～12.32％。