[發(fā)明專利]使用多個(gè)焦點(diǎn)來進(jìn)行對透明制品的激光加工在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010795423.2 | 申請日： | 2015-11-06 |
| 公開（公告）號： | CN111843191A | 公開（公告）日： | 2020-10-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | A·劉;L·T·馬斯特斯;A·M·斯特列爾佐夫 | 申請（專利權(quán)）人： | 康寧股份有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/046 | 分類號： | B23K26/046;B23K26/06;B23K26/064;B23K26/38;B23K26/402;C03B33/09 |
| 代理公司： | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100 | 代理人： | 周全 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 使用 焦點(diǎn) 進(jìn)行 透明 制品 激光 加工 | ||
1.一種方法，包括：
沿著共同路徑共線地會(huì)聚第一激光束和第二激光束，所述第一激光束的第一焦點(diǎn)和所述第二激光束的第二焦點(diǎn)沿著所述共同路徑彼此偏離；
在第一遍中移動(dòng)所述共線會(huì)聚的第一和第二激光束橫跨透明制品的至少一部分以便在所述透明制品中在距離所述透明制品的表面與所述第一焦點(diǎn)相對應(yīng)的第一深度以及在距離所述透明制品的所述表面與所述第二焦點(diǎn)相對應(yīng)的第二深度處形成第一缺陷串列；
調(diào)整所述第一焦點(diǎn)和所述第二焦點(diǎn)中的至少一個(gè)焦點(diǎn)；以及
在第二遍中移動(dòng)所述共線會(huì)聚的第一和第二激光束橫跨所述透明制品的所述部分以便在所述透明制品中在距離所述透明制品的所述表面與所述第一焦點(diǎn)相對應(yīng)的第三深度以及距離所述透明制品的所述表面與所述第二焦點(diǎn)相對應(yīng)的第四深度處形成第二缺陷串列，所述第一缺陷串列與所述第二缺陷串列交錯(cuò)。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括沿著所述第一和第二缺陷串列分離所述透明制品的步驟。
3.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的方法，其中，在與所述第一激光束共線地會(huì)聚之前所述第二激光束穿過至少兩個(gè)透鏡，并且調(diào)整所述第一和第二焦點(diǎn)包括調(diào)整所述至少兩個(gè)透鏡之間的距離。
4.如以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，進(jìn)一步包括：
使用激光器來生成初始激光束，所述初始激光束被配置成用于沿著第一路徑投射；
使用偏振分束器來分割所述初始激光束，所述偏振分束器布置在所述第一路徑中并且被配置成用于沿著所述第一路徑引導(dǎo)所述第一光束并且沿著從所述第一路徑發(fā)散的第二路徑引導(dǎo)所述第二激光束。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，進(jìn)一步包括：調(diào)整所述初始激光束的偏振角，由此響應(yīng)于所述調(diào)整所述初始激光束的所述偏振角而改變所述第一和第二激光束中的至少一者的功率輸出。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述第一和第二激光束的平均功率由于所述調(diào)整所述初始激光束的所述偏振角而更接近于相等。
7.如以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中，所述第一缺陷串列中的至少一個(gè)缺陷被布置成比所述第二缺陷串列中的至少一個(gè)缺陷更靠近所述表面。
8.如以上權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中，所述第三深度和所述第四深度中的至少一個(gè)深度比所述第一深度更遠(yuǎn)離所述表面。
9.一種方法，包括：
使用激光器來生成初始激光束，所述初始激光束被配置成用于沿著第一路徑投射；
使用偏振分束器來分割所述初始激光束，所述偏振分束器被布置在所述第一路徑中以便沿著所述第一路徑引導(dǎo)第一激光束并且沿著從所述第一路徑發(fā)散的第二路徑引導(dǎo)第二激光束，所述第一激光束具有沿著所述第一路徑的第一焦點(diǎn)并且所述第二激光束具有沿著所述第二路徑的第二焦點(diǎn)；
使所述第一和第二激光束穿過共同聚焦透鏡以便將所述第一和第二激光束聚焦到透明制品上；
移動(dòng)所述第一和第二激光束橫跨所述透明制品以便在所述透明制品中形成第一和第二缺陷串列，所述第一缺陷串列處于第一橫向位置以及距離所述透明制品的表面的第一深度處，所述第二缺陷串列處于與所述第一橫向位置偏離的第二橫向位置以及距離所述透明制品的所述表面與所述第一深度偏離的第二深度處，所述第一橫向位置和所述第一深度與所述第一焦點(diǎn)相對應(yīng)，并且所述第二橫向位置和所述第二深度與所述第二焦點(diǎn)相對應(yīng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，進(jìn)一步包括沿著所述第一和第二缺陷串列分離所述透明制品的步驟。
11.如權(quán)利要求9或權(quán)利要求10所述的方法，其中，所述第一路徑和所述第二路徑之一與所述初始激光束共線。
12.如權(quán)利要求9至11中任一項(xiàng)所述的方法，進(jìn)一步包括：調(diào)整至少兩個(gè)第一透鏡之間的距離以便沿著所述第二路徑調(diào)整所述第二焦點(diǎn)的位置。
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