[發(fā)明專利]用于晶圓先進(jìn)封裝領(lǐng)域的銅面保護(hù)劑及其制備方法

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• 申請日: 2020-08-08
• 公開（公告）號: CN111922553A
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姚成;周彥斌;李云華
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市創(chuàng)智成功科技有限公司
• 主分類號: B23K35/36
• 分類號: B23K35/36;B23K35/40
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1.一種用于晶圓先進(jìn)封裝領(lǐng)域的銅面保護(hù)劑，其特征在于，包括以下質(zhì)量百分比的組分：

烷基苯基咪唑類化合物0.1-5％

增溶劑0.01％-0.3％

有機酸1-20％

金屬化合物0.1-0.5％

去離子水：5-85％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓先進(jìn)封裝領(lǐng)域的銅面保護(hù)劑，其特征在于，所述烷基苯基咪唑類化合物為：2,4-二苯基-5-甲基咪唑、4-甲基-2,5-二苯基咪唑、2-(3',4'-二甲氧苯基)4-苯基-5-甲基咪唑、2-苯基-4-芐基咪唑、5-氯-2-芐基苯并咪唑、2-(3-氯芐基)-苯并咪唑、2-甲基-4,5-聯(lián)芐基咪唑、2-(1-萘基)甲基-4-甲基咪唑、2-苯基-4-(1-萘基)-5-甲基咪唑、2-(2-氯苯基)-4,5-二苯基咪唑、2-苯基-4-甲基咪唑、2-(4-氯苯基)-4-甲基咪唑、2-(2,4-二氯苯基甲基)-4,5-二苯基咪唑、2-芐基-4-(2,4-二氯苯基)-5-甲基咪唑、2-苯甲基-4-(3,4-二氯苯基)-5-甲基咪唑中的任一種或多種的混合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓先進(jìn)封裝領(lǐng)域的銅面保護(hù)劑，其特征在于，所述有機酸為甲酸、乙酸、丙酸或乳酸中的至少一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓先進(jìn)封裝領(lǐng)域的銅面保護(hù)劑，其特征在于，所述增溶劑為丙酮、乙二醇、乙醇、N,N-二甲基甲酰胺、咪唑并吡啶并吡嗪酮中一種或兩種組合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓先進(jìn)封裝領(lǐng)域的銅面保護(hù)劑，其特征在于，所述金屬化合物為硝酸銅、硫酸銅、磷酸銅、氯化銅、氯化亞銅、溴化銅、溴化亞銅、碘化銅、乙酸銅中的至少一種。

6.一種用于晶圓先進(jìn)封裝領(lǐng)域的銅面保護(hù)劑的制備方法，其特征在于，基于權(quán)利要求1所述的銅面保護(hù)劑，包括以下步驟：

步驟1，按權(quán)利要求1所述的一種晶圓先進(jìn)封裝領(lǐng)域銅面保護(hù)劑的組分稱量原料，將有機酸和金屬化合物溶入去離子水中，攪拌，使其全部溶解均勻，得到溶液A；

步驟2，將稱量好的咪唑類化合物加入到溶液A中，攪拌，至全部溶解，得到溶液B；

步驟3，將稱量好的增溶劑，加入到溶液B中，得到溶液C；

步驟4，將pH調(diào)節(jié)劑加入到溶液C中并攪拌均勻，所得溶液即為保護(hù)劑。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶圓先進(jìn)封裝領(lǐng)域銅面保護(hù)劑的制備方法，其特征在于，所述pH調(diào)節(jié)劑為氨水、氫氧化鈉、氫氧化鉀或有機胺類中的至少一種，pH調(diào)節(jié)劑的添加量為溶液C總質(zhì)量的0.01％-0.05％，pH值在3-5之間。