[發(fā)明專利]一種提升光刻速度的方法、裝置、存儲介質(zhì)及終端設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010790774.4
• 申請日: 2020-08-07
• 公開（公告）號: CN111999985B
• 公開（公告）日: 2023-01-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郝明毅;朱春輝
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳清溢光電股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京科家知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11427
• 代理人: 宮建華

1.一種提升光刻速度的方法，其特征在于，所述方法包括：

實時檢測當(dāng)前掃描寬度是否小于預(yù)設(shè)掃描寬度，所述預(yù)設(shè)掃描寬度是光刻系統(tǒng)正常工作時的掃描寬度；

若當(dāng)前掃描寬度小于預(yù)設(shè)掃描寬度，讀取經(jīng)圖形轉(zhuǎn)換單元轉(zhuǎn)換的數(shù)據(jù)，像素生成器解壓所述數(shù)據(jù)，并刪除解壓后的數(shù)據(jù)兩端冗余像素數(shù)據(jù)，獲得有效像素數(shù)據(jù)，所述冗余像素數(shù)據(jù)是指因掃描寬度減小而導(dǎo)致柵式光閥無對應(yīng)圖形，掃描中一直不變的部分?jǐn)?shù)據(jù)；

根據(jù)讀取的所述有效像素數(shù)據(jù)，控制柵式光閥的微結(jié)構(gòu)；

根據(jù)設(shè)定參數(shù)和所述有效像素數(shù)據(jù)，將圖形刻制在工件上，所述設(shè)定參數(shù)包括激光器脈沖頻率、激光器的輸出能量及運動平臺的運動速度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提升光刻速度的方法，其特征在于，在所述獲得有效像素數(shù)據(jù)之后，在所述根據(jù)讀取的所述有效像素數(shù)據(jù)，控制柵式光閥的微結(jié)構(gòu)之前，所述方法還包括：

若當(dāng)前掃描寬度小于預(yù)設(shè)掃描寬度，獲取行像素數(shù)據(jù)；

根據(jù)所述行像素數(shù)據(jù)，獲得更新曝光頻率、運動平臺的更新速度以及與所述更新速度相關(guān)的其他曝光參數(shù)；

根據(jù)所述更新曝光頻率和預(yù)設(shè)曝光頻率對應(yīng)的能量，獲得更新曝光能量；

以所述更新曝光頻率設(shè)置為激光器脈沖頻率，以所述更新曝光能量設(shè)置為激光器的輸出能量，以所述運動平臺的更新速度設(shè)置為運動平臺的運動速度。

3.一種提升光刻速度的裝置，其特征在于，所述裝置包括：

檢測單元模塊，用于實時檢測當(dāng)前掃描寬度是否小于預(yù)設(shè)掃描寬度，所述預(yù)設(shè)掃描寬度是光刻系統(tǒng)正常工作時的掃描寬度；

數(shù)據(jù)裝載模塊，用于若當(dāng)前掃描寬度小于預(yù)設(shè)掃描寬度，讀取經(jīng)圖形轉(zhuǎn)換單元轉(zhuǎn)換的數(shù)據(jù)，像素生成器解壓所述數(shù)據(jù)，并刪除解壓后的數(shù)據(jù)兩端冗余像素數(shù)據(jù)，獲得有效像素數(shù)據(jù)，所述冗余像素數(shù)據(jù)是指因掃描寬度減小而導(dǎo)致柵式光閥無對應(yīng)圖形，掃描中一直不變的部分?jǐn)?shù)據(jù)；

光閥調(diào)整模塊，用于根據(jù)讀取的所述有效像素數(shù)據(jù)，控制柵式光閥的微結(jié)構(gòu)；

光刻模塊，用于根據(jù)設(shè)定參數(shù)和所述有效像素數(shù)據(jù)，將圖形刻制在工件上，所述設(shè)定參數(shù)包括激光器脈沖頻率、激光器的輸出能量及運動平臺的運動速度。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的提升光刻速度的裝置，其特征在于，所述數(shù)據(jù)裝載模塊和光閥調(diào)整模塊之間，所述裝置還包括：

第一獲取模塊，用于若當(dāng)前掃描寬度小于預(yù)設(shè)掃描寬度，獲取行像素數(shù)據(jù)；

第二獲取模塊，用于根據(jù)所述行像素數(shù)據(jù)，獲得更新曝光頻率、運動平臺的更新速度以及與所述更新速度相關(guān)的其他曝光參數(shù)；

第三獲取模塊，用于根據(jù)所述更新曝光頻率和預(yù)設(shè)曝光頻率對應(yīng)的能量，獲得更新曝光能量；

參數(shù)設(shè)置模塊，用于以所述更新曝光頻率設(shè)置為激光器脈沖頻率，以所述更新曝光能量設(shè)置為激光器的輸出能量，以所述運動平臺的更新速度設(shè)置為運動平臺的運動速度。

5.一種計算機可讀的存儲介質(zhì)，其特征在于，所述計算機可讀的存儲介質(zhì)包括存儲的程序，其中，所述程序運行時執(zhí)行上述權(quán)利要求1至2任一項中所述的方法。

6.一種終端設(shè)備，包括存儲器和處理器，其特征在于，所述存儲器中存儲有計算機程序，所述處理器被設(shè)置為通過所述計算機程序執(zhí)行所述權(quán)利要求1至2任一項中所述的方法。