[發(fā)明專利]微型閥

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010789984.1
• 申請日: 2020-08-07
• 公開（公告）號: CN112628462B
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧文劍;芝本繁明;高橋一法;佐藤彩夏
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F16K99/00
• 分類號: F16K99/00;F16K27/02
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種微型閥，其具有層疊構(gòu)造，其中，

所述微型閥具備：

基座層，其形成有用于向所述微型閥內(nèi)導(dǎo)入氣體的流入口以及用于使自所述流入口導(dǎo)入的氣體向外部流出的流出口；以及

隔膜層，其與所述基座層相對地配置，通過彈性變形而對自所述流入口向所述流出口的氣體的流通和切斷進(jìn)行切換，

所述隔膜層具有交替地形成有多個(gè)變形區(qū)域和多個(gè)剛體區(qū)域的結(jié)構(gòu)，所述變形區(qū)域能夠隨著氣動流體向所述微型閥內(nèi)流入而彈性變形，

在所述隔膜層中，通過使所述多個(gè)變形區(qū)域的至少一部分彈性變形而封閉所述流入口以及所述流出口中的至少一者，

所述變形區(qū)域和所述剛體區(qū)域交替地形成于所述隔膜層的與用于封閉所述流入口以及所述流出口中的至少一者的密封面相反的那一側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微型閥，其中，

所述隔膜層由單一的材料成形，所述多個(gè)變形區(qū)域的層疊方向的厚度比所述多個(gè)剛體區(qū)域的層疊方向的厚度薄。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微型閥，其中，

在自層疊方向俯視所述隔膜層的情況下，所述多個(gè)剛體區(qū)域的一部分以及所述多個(gè)變形區(qū)域具有圓環(huán)形狀，所述多個(gè)變形區(qū)域以及所述多個(gè)剛體區(qū)域呈同心圓狀交替地形成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微型閥，其中，

所述微型閥還具備覆蓋層，

所述隔膜層配置在所述覆蓋層與所述基座層之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微型閥，其中，

氣動流體向所述隔膜層與所述覆蓋層之間流入，將所述隔膜層按壓于所述基座層，從而封閉所述流入口以及所述流出口中的至少一者。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微型閥，其中，

使用硅、玻璃或PEEK樹脂來形成所述隔膜層。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微型閥，其中，

所述微型閥還具備覆蓋層，

所述隔膜層配置在所述覆蓋層與所述基座層之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微型閥，其中，

氣動流體向所述隔膜層與所述覆蓋層之間流入，將所述隔膜層按壓于所述基座層，從而封閉所述流入口以及所述流出口中的至少一者。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微型閥，其中，

使用硅、玻璃或PEEK樹脂來形成所述隔膜層。

10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微型閥，其中，

使用硅、玻璃或PEEK樹脂來形成所述隔膜層。

11.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微型閥，其中，

使用硅、玻璃或PEEK樹脂來形成所述隔膜層。

12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微型閥，其中，

使用硅、玻璃或PEEK樹脂來形成所述隔膜層。

13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的微型閥，其中，

使用硅、玻璃或PEEK樹脂來形成所述隔膜層。

14.一種微型閥，其具有層疊構(gòu)造，其中，

所述微型閥具備：

基座層，其形成有用于向所述微型閥內(nèi)導(dǎo)入氣體的流入口以及用于使自所述流入口導(dǎo)入的氣體向外部流出的流出口；以及

隔膜層，其與所述基座層相對地配置，通過彈性變形而對自所述流入口向所述流出口的氣體的流通和切斷進(jìn)行切換，

所述隔膜層包含變形區(qū)域和剛體區(qū)域，所述變形區(qū)域能夠隨著氣動流體向所述微型閥內(nèi)流入而彈性變形，所述剛體區(qū)域用于限制所述變形區(qū)域的變形量，

所述流入口以及所述流出口中的至少一者會被彈性變形后的所述變形區(qū)域覆蓋而被封閉，

所述變形區(qū)域和所述剛體區(qū)域形成于所述隔膜層的與用于封閉所述流入口以及所述流出口中的至少一者的密封面相反的那一側(cè)。