[發明專利]抗等離子體腐蝕的稀土氧化物基薄膜涂層

有效

• 申請號: 202010788490.1
• 申請日: 2014-06-19
• 公開（公告）號: CN111900084B
• 公開（公告）日: 2022-07-26
• 發明（設計）人: J·Y·孫;B·P·卡農戈;V·菲魯茲多爾;T·趙
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01L21/308
• 分類號: H01L21/308;H01L21/3065
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖;張鑫

1.一種制品，包含：

主體；

第一保護層，所述第一保護層位于所述主體的至少一個表面上，其中所述第一保護層是具有小于1％的孔隙度的薄膜，且其中所述第一保護層包含第一陶瓷，所述第一陶瓷選自由以下各項組成的組：

Y₃Al₅O₁₂，具有8.5GPa±達30％的硬度、9.76±達30％的介電常數、11.3E16Ω·cm±達30％的體電阻率、20.1W/m·K±達30％的熱導率和4.4E-10cm³/s±達30％的厄米性；

Er₂O₃，具有5GPa±達30％的硬度、9.67±達30％的介電常數、19.4W/m·K±達30％的熱導率和5.5E-9cm³/s±達30％的厄米性；

Er₃Al₅O₁₂，具有9GPa±達30％的硬度、9.54±達30％的介電常數、19.2W/m·K±達30％的熱導率和9.5E-10cm³/s±達30％的厄米性；以及

含Y₄Al₂O₉與Y₂O₃-ZrO₂固體溶液的陶瓷化合物，所述陶瓷化合物具有7.825GPa±達30％的硬度、9.83±達30％的介電常數、4.1E16Ω·cm±達30％的體電阻率、19.9W/m·K±達30％的熱導率和1.2E-9cm³/s±達30％的厄米性；以及

過渡層，所述過渡層位于所述主體的所述至少一個表面與所述第一保護層之間，其中所述過渡層提供所述第一保護層與所述主體的所述至少一個表面之間的擴散粘合。

2.如權利要求1所述的制品，進一步包括：

保護層疊層，所述保護層疊層位于所述主體的所述至少一個表面上，所述保護層疊層包含至少所述第一保護層和第二保護層，所述第二保護層覆蓋所述第一保護層的至少一部分，其中，所述第二保護層是包含與所述第一陶瓷不同的第二陶瓷的薄膜，所述第二陶瓷選自由以下各項組成的組：Y₃Al₅O₁₂、Y₄Al₂O₉、Er₂O₃、Gd₂O₃、Er₃Al₅O₁₂、Gd₃Al₅O₁₂以及含Y₄Al₂O₉與Y₂O₃-ZrO₂固體溶液的所述陶瓷化合物。

3.如權利要求1所述的制品，其特征在于，所述第一陶瓷是Y₃Al₅O₁₂。

4.如權利要求1所述的制品，其特征在于，所述第一陶瓷是Er₂O₃，并且其中所述第一陶瓷具有5GPa±達30％的硬度、9.67±達30％的介電常數以及19.4W/m·K±達30％的熱導率。

5.如權利要求1所述的制品，其特征在于，所述第一陶瓷是Er₃Al₅O₁₂，并且其中所述第一陶瓷具有9GPa±達30％的硬度、9.54±達10％的介電常數以及19.2W/m·K±達30％的熱導率。

6.如權利要求1所述的制品，其特征在于，所述第一陶瓷是包含Y₄Al₂O₉與Y₂O₃-ZrO₂固體溶液的所述陶瓷化合物。