[發明專利]形狀的評價方法、部件的制造方法以及形狀的評價系統

有效

• 申請號: 202010787419.1
• 申請日: 2020-08-07
• 公開（公告）號: CN112595256B
• 公開（公告）日: 2022-07-12
• 發明（設計）人: 上北將廣
• 申請（專利權）人: 株式會社東芝
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B21/20
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 房永峰

1.一種形狀的評價方法，具備如下工序：將對象物的被測量面的形狀以在第一方向上鄰接的一對測量區域具有重復區域的方式進行局部測量，取得每個所述測量區域的測量數據；針對每個所述測量區域，計算出從所述測量數據中去除了與所述第一方向交叉的第二方向上的形狀的變動后而得到的所述第一方向上的形狀的代表數據；以及以在沿所述第一方向鄰接的一對所述代表數據中所述重復區域的形狀差成為最小的方式連接多個所述代表數據，合成所述被測量面的整體的形狀數據，計算所述代表數據的工序具有如下工序：計算各個所述測量數據的所述重復區域的所述第一方向的形狀的斜率；在沿所述第一方向鄰接的一對所述測量數據中，檢測旋轉量，所述旋轉量是在使一方的測量數據相對于另一方的測量數據旋轉的情況下使所述重復區域的所述斜率一致的旋轉量；計算從加入所述旋轉量的各個所述測量數據中去除了所述第二方向上的變動后的所述代表數據。

2.根據權利要求1所述的形狀的評價方法，所述對象物是通過具有刀具的加工機構加工后的工件，所述第一方向是俯視所述被測量面時的所述刀具相對于所述被測量面的掃描方向。

3.根據權利要求2所述的形狀的評價方法，還具備如下工序：基于所述整體的形狀數據，計算出用于校正所述加工機構的加工指令數據以抑制波紋的產生的校正數據，所述波紋是由所述加工機構的運動誤差引起的。

4.根據權利要求1所述的形狀的評價方法，在計算所述代表數據的工序中，在所述代表數據中，從所述測量數據中去除所述第二方向上的形狀的變動，以使所述第二方向的平均形狀變得平坦。

5.根據權利要求1所述的形狀的評價方法，合成所述整體的形狀數據的工序具有如下工序：在沿所述第一方向鄰接的一對所述代表數據中檢測出使所述重復區域的形狀差成為最小的沿所述第一方向的相對位置；以及基于檢測出的所述相對位置連接多個所述代表數據，合成所述整體的形狀數據。

6.一種部件的制造方法，具備如下工序：使用具有刀具的加工機構對測試品的原料進行加工，形成被加工面；將所述被加工面的至少一部分的形狀以在第一方向上鄰接的測量區域具有重復區域的方式進行局部測量，取得每個所述測量區域的測量數據；針對每個所述測量區域，計算出從所述測量數據中去除了與所述第一方向交叉的第二方向上的形狀的變動后而得到的所述第一方向上的形狀的代表數據；以在沿所述第一方向鄰接的一對所述代表數據中所述重復區域的形狀差成為最小的方式連接多個所述代表數據，合成整體的形狀數據；基于所述整體的形狀數據，校正加工指令數據，以抑制所述加工機構的運動誤差所引起的波紋的產生；根據所述校正后的加工指令數據，使用所述加工機構加工模具的原料，制作所述模具；以及使用所述模具成形出部件，所述第一方向是俯視所述測試品的所述被加工面時的所述刀具的掃描方向，計算所述代表數據的工序具有如下工序：計算各個所述測量數據的所述重復區域的所述第一方向的形狀的斜率；在沿所述第一方向鄰接的一對所述測量數據中，檢測旋轉量，所述旋轉量是在使一方的測量數據相對于另一方的測量數據旋轉的情況下使所述重復區域的所述斜率一致的旋轉量；計算從加入所述旋轉量的各個所述測量數據中去除了所述第二方向上的變動后的所述代表數據。

7.根據權利要求6所述的部件的制造方法，所述部件為光學部件。

8.一種形狀的評價系統，具備：形狀測量機構，將對象物的被測量面的形狀以在第一方向上鄰接的一對測量區域具有重復區域的方式進行局部測量，取得每個所述測量區域的測量數據；以及處理部，針對每一個所述測量區域計算出從所述測量數據中去除了與所述第一方向交叉的第二方向上的形狀的變動后而得到的所述第一方向上的形狀的代表數據，以在沿所述第一方向鄰接的一對所述代表數據中所述重復區域的形狀差成為最小的方式連接多個所述代表數據，合成所述被測量面的整體的形狀數據，所述處理部在計算所述代表數據時進行以下工序：計算各個所述測量數據的所述重復區域的所述第一方向的形狀的斜率；在沿所述第一方向鄰接的一對所述測量數據中，檢測旋轉量，所述旋轉量是在使一方的測量數據相對于另一方的測量數據旋轉的情況下使所述重復區域的所述斜率一致的旋轉量；計算從加入所述旋轉量的各個所述測量數據中去除了所述第二方向上的變動后的所述代表數據。