[發明專利]一種鉭鋁合金濺射靶材及其制備方法

在審

• 申請號: 202010784867.6
• 申請日: 2020-08-06
• 公開（公告）號: CN111945121A
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發明（設計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;黃東長
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/32;B22F3/15;B22F3/24;C22C27/02;B22F1/00
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種鉭鋁合金濺射靶材的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括如下步驟：

(1)將具有目標質量比例的鉭鋁合金粉末裝入模具并封口；

(2)將步驟(1)封口后的模具進行脫氣處理；

(3)將步驟(2)脫氣后的模具在500-950℃下進行熱等靜壓處理，得到鉭鋁合金濺射靶材粗品；

(4)將步驟(3)得到的鉭鋁合金濺射靶材粗品進行機加工，得到鉭鋁合金濺射靶材。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟(1)所述目標質量比例中鋁的質量比例為12.5-13.5％，其余為鉭；

優選地，步驟(1)所述模具為不銹鋼包套；

優選地，在步驟(1)所述裝入模具后，依次進行夯實和封口。

3.根據權利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，步驟(1)所述鉭鋁合金粉末由鉭粉和鋁粉按照目標質量比例混合得到；

優選地，所述鉭粉的純度為99.95-99.99％；

優選地，所述鉭粉的粒徑≤75μm；

優選地，所述鋁粉的純度為99.95-99.99％；

優選地，所述鋁粉的粒徑≤75μm。

4.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述混合在惰性氣體保護下進行；

優選地，所述惰性氣體為氦氣和/或氬氣，優選為氬氣；

優選地，所述惰性氣體的壓力為0.02-0.06MPa。

5.根據權利要求3或4所述的制備方法，其特征在于，所述混合在V型混粉機中進行；

優選地，在所述混合前將所述V型混粉機清洗干凈，以保證V型混粉機內無污染；

優選地，所述V型混粉機的混合速率為5-15r/min；

優選地，所述混合的混合時間為12-36h。

6.根據權利要求1-5任一項所述的制備方法，其特征在于，步驟(2)所述脫氣處理的溫度為300-500℃；

優選地，步驟(2)所述脫氣處理的時間為4-8h；

優選地，步驟(2)所述脫氣處理的真空度在5.0E-3Pa以下；

優選地，步驟(2)所述脫氣處理在加熱爐中進行。

7.根據權利要求1-6任一項所述的制備方法，其特征在于，步驟(3)所述熱等靜壓處理在熱等靜壓爐中進行；

優選地，在步驟(3)所述熱等靜壓處理前進行冷態增壓燒結；

優選地，步驟(3)所述熱等靜壓處理包括依次進行的第一段熱等靜壓和第二段熱等靜壓；

優選地，所述第一段熱等靜壓處理的溫度為500-600℃；

優選地，所述第一段熱等靜壓處理的時間為1-2h；

優選地，所述第二段熱等靜壓處理的溫度為750-950℃；

優選地，所述第二段熱等靜壓處理的時間為3-6h；

優選地，步驟(3)所述熱等靜壓處理的壓力為90-170MPa；

優選地，在步驟(3)所述熱等靜壓處理后，將所述模具去掉，得到鉭鋁合金濺射靶材粗品。

8.根據權利要求1-7任一項所述的制備方法，其特征在于，在步驟(4)所述機加工后，依次進行檢測、清洗、干燥、包裝，得到鉭鋁合金濺射靶材。