[發明專利]一種壓力傳感器

在審

• 申請號: 202010782754.2
• 申請日: 2020-08-06
• 公開（公告）號: CN111928978A
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發明（設計）人: 潘曹峰;鮑容容;陶娟
• 申請（專利權）人: 北京納米能源與系統研究所
• 主分類號: G01L1/14
• 分類號: G01L1/14
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 劉彩紅

本發明公開了一種壓力傳感器，通過將位于第一電極和第二電極之間的介質層設置為彈性體，且在彈性體中增加導電物質和/或孔隙，通過對導電物質的種類、孔隙大小及孔隙率的調節，可以調節介質層的楊氏模量，以及介質層抵抗形變的能力，得到需要的壓力測試范圍和測試靈敏度，從而使得該種結構的壓力傳感器具有廣泛的適用性。

技術領域

本發明涉及傳感器技術領域，尤指一種壓力傳感器。

背景技術

用來感知外界壓力的壓力傳感器，可以采用具有平行板結構的電容式傳感器，該種結構的壓力傳感器具有結構簡單、功耗低、易于大面積制備、以及穩定性好等優點，具有廣泛的應用。

其中，不同的應用場景，需要具有不同性能的傳感器，例如：在探測較小的應變情況下，需要具有較高的靈敏度。

那么，如何調節壓力傳感器的性能，以適用于不同的應用場景，是本領域技術人員亟待解決的技術問題。

發明內容

本發明實施例提供了一種壓力傳感器，用以調節壓力傳感器的性能，以適用于不同的應用場景。

本發明實施例提供了一種壓力傳感器，包括：相對而置的第一電極和第二電極、以及位于所述第一電極和所述第二電極之間的介質層；

所述介質層為包括導電物質和/或孔隙的彈性體。

本發明有益效果如下：

本發明實施例提供的一種壓力傳感器，通過將位于第一電極和第二電極之間的介質層設置為彈性體，可以降低介質層的楊氏模量，降低介質層抵抗形變的能力，使得在較小的應力時即可實現應力的探測。進一步地，通過在彈性體中增加導電物質和/或孔隙，且通過對導電物質的種類、孔隙大小及孔隙率的調節，可以進一步地調節介質層的楊氏模量，進而進一步調節介質層抵抗形變的能力，得到需要的壓力測試范圍和測試靈敏度，從而使得該種結構的壓力傳感器具有廣泛的適用性。

附圖說明

圖1為本發明實施例中提供的一種壓力傳感器的結構示意圖；

圖2為本發明實施例中提供的另一種壓力傳感器的結構示意圖；

圖3為本發明實施例中提供的又一種壓力傳感器的結構示意圖；

圖4為本發明實施例中提供的第一電極或第二電極的透光程度的示意圖；

圖5為本發明實施例中提供的壓力傳感器的透光程度的示意圖；

圖6為本發明實施例中提供的一種壓力傳感器的壓力測試結果示意圖；

圖7為本發明實施例中提供的不同紡絲時間對應的電極的透光程度的示意圖；

圖8為本發明實施例中提供的第一電極或第二電極的掃描電鏡圖；

圖9為本發明實施例中提供的介質層的斷面掃描電鏡圖；

圖10為本發明實施例中提供的不同孔隙率的介質層的透光程度的示意圖。

其中，10-第一電極，11-第一透明柔性襯底，12-第一導電層，20-第二電極，21-第二透明柔性襯底，22-第二導電層，30-介質層，30a-導電物質，30b-孔隙。

具體實施方式

下面將結合附圖，對本發明實施例提供的一種壓力傳感器的具體實施方式進行詳細地說明。需要說明的是，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。

本發明實施例提供了一種壓力傳感器，如圖1至圖3所示，可以包括：相對而置的第一電極10和第二電極20、以及位于第一電極10和第二電極20之間的介質層30；