[發明專利]一種薄膜壓力傳感器及其制備方法

有效

• 申請號: 202010781708.0
• 申請日: 2020-08-06
• 公開（公告）號: CN111735562B
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: 汪曉陽;嚴穎濤;熊玉章
• 申請（專利權）人: 鈦深科技（深圳）有限公司
• 主分類號: H01L29/84
• 分類號: H01L29/84;G01L1/20;G01L9/02
• 代理公司: 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 44414
• 代理人: 李艷麗

1.一種薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述薄膜壓力傳感器包括：

功能薄膜，所述功能薄膜為功能復合材料層，所述功能復合材料層包括導電性填料和樹脂基體，其中，所述導電性填料填充于所述樹脂基體中，所述功能薄膜的表面設有依序排列的凸起結構；

或者所述功能薄膜為多層結構，所述多層結構包括基底、設于所述基底上的高導電性層以及形成于所述高導電性層上的高電阻材料層，所述高電阻材料層主要包括導電性填料和樹脂基體，其中，所述導電性填料填充于所述樹脂基體中，所述高電阻材料層的表面設有依序排列的凸起結構；

電極組，所述電極組與所述功能薄膜貼合；

所述凸起結構與所述電極組中的電極貼合接觸；其中，所述凸起結構由熱熔的聚合物材料在流延或者壓延冷卻后形成，所述聚合物材料由所述導電性填料添加至所述樹脂基體中形成。

2.如權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能薄膜為所述功能復合材料層時，所述功能復合材料層中的樹脂基體包括熱塑性聚酯、聚酰亞胺薄膜、聚碳酸酯、聚砜、聚醚酰亞胺、聚醚類塑料、聚醚酮中的至少一項。

3.如權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能薄膜為所述功能復合材料層時，所述功能復合材料層中的導電性填料包括炭黑、石墨、碳納米管、石墨烯、金屬粉以及導電氧化物粉中的至少一項。

4.如權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能薄膜為多層結構時，所述高導電性層中的樹脂基體包括環氧樹脂、聚氨酯、丙烯酸樹脂、不飽和聚酯、酚醛樹脂以及聚酰亞胺樹脂中的至少一項。

5.如權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能薄膜為多層結構時，所述高電阻材料層中的導電性填料包括炭黑、石墨、碳納米管、石墨烯、金屬粉以及導電氧化物粉中的至少一項。

6.如權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能薄膜為功能復合材料層時，所述功能復合材料層的厚度為0.001-1000um。

7.如權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能薄膜為功能復合材料層時，所述功能復合材料層的方阻為0.1-10⁹ 歐姆/mil。

8.如權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能薄膜為多層結構時，所述高電阻材料層的厚度為0.001-1000um。

9.如權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能薄膜為多層結構時，所述高電阻材料層的方阻為0.1-10⁹ 歐姆/mil。

10.如權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能薄膜為功能復合材料層時，所述功能復合材料層的一面或者兩面依序排列的凸起結構的尺寸為0.001-1000微米。

11.如權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能薄膜為多層結構時，所述高電阻材料層表面依序排列的凸起結構的尺寸為0.001-1000微米。

12.如權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能薄膜為多層結構時，所述高電阻材料層通過涂布、絲網印刷、噴墨印刷或凹版印刷的方式形成于所述高導電性層表面。

13.如權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能薄膜為多層結構時，所述高導電性層包括金屬層、導電性碳層、導電性純金屬箔、導電性氧化物以及導電高分子涂層中的至少一種。

14.如權利要求1所述的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述功能薄膜為多層結構時，所述高導電性層的方阻為0.0006-10⁶歐姆/mil。