[發明專利]光罩收容裝置

有效

• 申請號: 202010781434.5
• 申請日: 2020-08-06
• 公開（公告）號: CN112389846B
• 公開（公告）日: 2022-08-26
• 發明（設計）人: 莊家和;溫星閔;薛新民;李怡萱;邱銘乾
• 申請（專利權）人: 家登精密工業股份有限公司
• 主分類號: B65D43/06
• 分類號: B65D43/06;B65D43/08;B65D51/16
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 姜璐璐;趙燕力

1.一種光罩收容裝置，包含：

一上蓋，具有一頂部和一覆蓋部，該覆蓋部圍繞該頂部；

一下蓋，具有一承載部和一周圍結構，該周圍結構圍繞該承載部；及

多個支撐柱，將該上蓋抬升于該下蓋上方，

其特征在于，當該上蓋與該下蓋結合時，該承載部與該上蓋的頂部和覆蓋部定義一光罩容置空間，該上蓋的覆蓋部面對該下蓋的周圍結構，該上蓋的覆蓋部的至少一部分與該下蓋的周圍結構的至少一部分借由多個該支撐柱而定義一通道，該通道使該光罩容置空間未封閉，

其中，多個該支撐柱自該覆蓋部向下延伸，該下蓋的周圍結構具有對應多個該支撐柱的多個容置凹部，多個該容置凹部自該周圍結構向下延伸，各容置凹部配置成部分地容置對應的支撐柱，使該上蓋的覆蓋部被舉升于該下蓋的周圍結構的上方。

2.如權利要求1所述的光罩收容裝置，其特征在于，該通道至少由兩個不同方向的延伸結構所組成，所述兩個不同方向的延伸結構是由形成于該覆蓋部的一第一凹部與形成于該周圍結構的一第一凸部所定義，該第一凹部與該第一凸部結構對應。

3.如權利要求2所述的光罩收容裝置，其特征在于，該通道至少由兩個不同方向的延伸結構所組成，所述兩個不同方向的延伸結構還是由形成于該覆蓋部的一第二凸部與形成于該周圍結構的一第二凹部所定義，該第二凸部與該第二凹部結構對應。

4.如權利要求3所述的光罩收容裝置，其特征在于，該第一凹部圍繞該第二凸部，而該第一凸部圍繞該第二凹部。

5.如權利要求1所述的光罩收容裝置，其特征在于，該通道至少由一第一橫向延伸結構、一第二橫向延伸結構及一縱向延伸結構所組成，該縱向延伸結構介于該第一橫向延伸結構及該第二橫向延伸結構之間，該第一橫向延伸結構及該第二橫向延伸結構分別位于不同水平高度。

6.如權利要求1所述的光罩收容裝置，其特征在于，該下蓋的周圍結構與該承載部之間定義一溝槽，該溝槽介于該通道與該光罩容置空間之間。

7.一種光罩收容裝置，包含：

一上蓋，具有一頂部和一覆蓋部，該覆蓋部圍繞該頂部；及

一下蓋，具有一承載部和一周圍結構，該周圍結構圍繞該承載部，

其特征在于，當該上蓋與該下蓋結合時，該承載部與該上蓋的頂部和覆蓋部定義一光罩容置空間，該上蓋的覆蓋部面對該下蓋的周圍結構，該上蓋的覆蓋部的至少一部分與該下蓋的周圍結構的至少一部分定義一通道，該通道使該光罩容置空間未封閉，該通道由多個延伸結構所組成，該通道具有一第一轉折點及一第二轉折點，該第一轉折點和該第二轉折點改變氣流方向，

其中，多個支撐柱自該覆蓋部向下延伸，該下蓋的周圍結構具有對應多個該支撐柱的多個容置凹部，多個該容置凹部自該周圍結構向下延伸，各容置凹部配置成部分地容置對應的支撐柱，使該上蓋的覆蓋部被舉升于該下蓋的周圍結構的上方。

8.如權利要求7所述的光罩收容裝置，其特征在于，該通道還具有一入口，該第一轉折點所在的水平高度高于該入口的水平高度，該第二轉折點的水平高度低于該入口的水平高度。

9.如權利要求7所述的光罩收容裝置，其特征在于，該下蓋的周圍結構與該承載部之間定義一溝槽，該溝槽介于該通道與該光罩容置空間之間。