[發明專利]一種用于晶圓表面涂布的旋涂裝置

在審

• 申請號: 202010773954.1
• 申請日: 2020-08-04
• 公開（公告）號: CN111992428A
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發明（設計）人: 李華芳
• 申請（專利權）人: 李華芳
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C11/08;B05C11/10;B05C13/02
• 代理公司: 廈門仕誠聯合知識產權代理事務所(普通合伙) 35227
• 代理人: 樂珠秀

本發明公開了一種用于晶圓表面涂布的旋涂裝置，其結構包括機體、防塵罩、支撐腿、控制開關、顯示屏和電源線，通過在防塵罩內部下端左右水平相對設置了輔助頂出裝置，通過控制開關啟動驅動機構，驅動機構帶動大齒輪進行轉動，大齒輪帶動第二活動塊進行活動，第二活動塊帶動推桿進行活動，推桿帶動承載盤進行活動，達到輔助頂出承載盤的效果，通過在第一活動塊內中部設置了驅動機構，通過控制開關啟動第二電機，第二電機帶動第二轉軸進行轉動，第二轉軸帶動小齒輪進行轉動，小齒輪帶動大齒輪進行轉動，大齒輪帶動第二活動塊進行活動，達到驅動第二活動塊的效果，本裝置使用方便操作簡單，有效的提高了工作效率。

技術領域

本發明涉及晶圓表面涂布技術領域，具體涉及一種用于晶圓表面涂布的旋涂裝置。

背景技術

晶圓是指制作硅半導體積體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅，硅晶棒在經過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓，目前國內晶圓生產線以8英寸和12英寸為主，在晶圓加工過程中需要用到用于晶圓表面涂布的旋涂裝置。

用于晶圓表面涂布的旋涂裝置一般都是將晶圓放置在承載盤上，通過控制開關啟動第一伸縮桿和第二伸縮桿對涂抹頭進行調節，通過控制開關啟動涂抹頭，使涂抹頭通過導管從儲料筒內吸取涂料進行涂抹。但是傳統用于晶圓表面涂布的旋涂裝置對于承載盤頂出效果較差，在使用過程中一般都是通過人工將承載盤取出，即浪費時間又浪費人力。同時傳統用于晶圓表面涂布的旋涂裝置對于第二活動塊驅動效果較差，導致使用不方便。

發明內容

(一)要解決的技術問題

為了克服現有技術不足，現提出一種用于晶圓表面涂布的旋涂裝置，解決了傳統用于晶圓表面涂布的旋涂裝置對于承載盤頂出效果較差，在使用過程中一般都是通過人工將承載盤取出，即浪費時間又浪費人力，同時傳統用于晶圓表面涂布的旋涂裝置對于第二活動塊驅動效果較差，導致使用不方便的問題。

(二)技術方案

本發明通過如下技術方案實現：本發明提出了一種用于晶圓表面涂布的旋涂裝置，包括機體，

承載盤，用于對晶圓進行放置；

輔助頂出裝置，用于對承載盤進行輔助頂出；

支撐腿，用于對機體進行固定支撐；

活動門，用于對機體進行打開或關閉；

把手，用于對活動門進行驅動；

涂抹頭，用于對晶圓表面進行涂布；

所述支撐腿呈圓柱體狀，并且支撐腿共設置有四個；

所述把手長度設置為八厘米，并且把手外表面設置有一層防滑紋路。

進一步的，所述機體頂端中部設置有防塵罩，所述機體底部四端固定有支撐腿，所述機體前端面中部設置有控制開關，所述機體前端面上端設置有顯示屏，并且顯示屏與控制開關電連接，所述機體背面右端設置有電源線，并且電源線與控制開關電連接。

所述機體右端中部設置有活動門，所述活動門右端固定有把手，所述防塵罩內部設置有承載盤，所述機體頂部右后端固定有第一伸縮桿，并且第一伸縮桿與控制開關電連接，所述第一伸縮桿前端面上端設置有第二伸縮桿，并且第二伸縮桿與控制開關電連接。

所述第二伸縮桿底部前端設置有涂抹頭，所述涂抹頭右端設置有導管，所述機體內部右端安裝有儲料筒，并且導管與儲料筒呈貫通結構，所述機體內中部安裝有第一電機，并且第一電機與控制開關電連接，所述第一電機頂部設置有轉盤，并且轉盤與第一電機輸出端轉動連接，所述轉盤內部等距嵌入有卡槽，所述承載盤底部等距固定有定位桿，并且定位桿與卡槽內側面相插接，所述防塵罩內部下端左右水平相對設置有輔助頂出裝置。