[發(fā)明專(zhuān)利]一種提高紅外及太赫茲芯片性能的方法及紅外及太赫茲芯片有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010773772.4 | 申請(qǐng)日: | 2020-08-04 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN111900231B | 公開(kāi)(公告)日: | 2022-04-12 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 賴(lài)偉恩;方紅云;袁浩 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 合肥工業(yè)大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L31/18 | 分類(lèi)號(hào): | H01L31/18;B22F9/24;B22F1/054;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司: | 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 夏苗苗 |
| 地址: | 230009 安*** | 國(guó)省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 提高 紅外 赫茲 芯片 性能 方法 | ||
1.一種提高紅外及太赫茲芯片性能的方法,其特征在于,所述方法包括以下步驟:
提供一核殼銀納米粒子,且所述核殼銀納米粒子中核殼的尺寸比為1:(0.1~1);
在所述紅外及太赫茲芯片上布設(shè)所述核殼銀納米粒子;
其中,所述核殼銀納米粒子在沸點(diǎn)為100~170℃的反應(yīng)介質(zhì)中,在保護(hù)劑的存在下,于100~170℃的溫度對(duì)核結(jié)構(gòu)的前驅(qū)體進(jìn)行至少一次還原處理得到核結(jié)構(gòu)的納米種子顆粒;并在25~100℃的反應(yīng)溫度下,加入殼結(jié)構(gòu)的前驅(qū)體并進(jìn)行至少一次的還原處理得到;
所述核結(jié)構(gòu)的納米種子顆粒的制備方法包括:稱(chēng)取所述核結(jié)構(gòu)的前驅(qū)體,加入所述反應(yīng)介質(zhì)、還原劑及所述保護(hù)劑,并加熱至100~170℃后,控制反應(yīng)時(shí)間,溶液顏色經(jīng)過(guò)一系列變化不變后,結(jié)束反應(yīng),其中,所述反應(yīng)介質(zhì)、所述保護(hù)劑、所述還原劑以及所述前驅(qū)體的比例為(1.5~3):(1~5):(1~5):(0.1~1);
將包含所述核殼銀納米粒子的溶液滴加于所述紅外及太赫茲芯片上,并通過(guò)旋涂工藝進(jìn)行分散。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高紅外及太赫茲芯片性能的方法,其特征在于,所述紅外及太赫茲芯片性能選自調(diào)制深度、調(diào)制帶寬,及響應(yīng)速度中的至少一項(xiàng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高紅外及太赫茲芯片性能的方法,其特征在于,所述紅外及太赫茲芯片作用的太赫茲波段為0.1-2.5THz。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的提高紅外及太赫茲芯片性能的方法,其特征在于,所述核殼銀納米粒子為單分散的核殼銀納米粒子,粒徑為20~100nm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的提高紅外及太赫茲芯片性能的方法,其特征在于,所述核殼銀納米粒子選自金銀核殼結(jié)構(gòu)、銀金核殼結(jié)構(gòu)、銀二氧化硅核殼結(jié)構(gòu)中的任意一種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高紅外及太赫茲芯片性能的方法,其特征在于,所述保護(hù)劑選自聚乙烯吡咯烷酮、檸檬酸三鈉、單寧酸中的任意一種或上述任意組合。
7.一種紅外及太赫茲芯片,其特征在于,采用權(quán)利要求1-6任意一項(xiàng)所述的提高紅外及太赫茲芯片性能的方法得到的紅外及太赫茲芯片。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專(zhuān)門(mén)適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專(zhuān)門(mén)適用于通過(guò)這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過(guò)該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





