[發(fā)明專利]一種銅粗化無引腳封裝引線框架的制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010773005.3
• 申請(qǐng)日: 2020-08-04
• 公開（公告）號(hào): CN111883432A
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天水華洋電子科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/48
• 分類號(hào): H01L21/48;C22F1/08;C23G1/10;C25D3/38
• 代理公司: 北京金宏來專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11641
• 代理人: 許振強(qiáng)

1.一種銅粗化無引腳封裝引線框架的制備方法，其特征在于包括如下步驟：

1)第一酸洗：利用酸性溶液沖洗去除了雜物的薄板材料，然后利用粗糙藥水進(jìn)行微蝕2～3次，每次的浸泡時(shí)間是30～40s；

2)預(yù)鍍銅粗化：利用硫酸銅40～50g/L、二乙烯三胺五甲叉膦酸4～6g/L、檸檬酸鉀8～10g/L、銀離子來源物40～50g/L和電鍍添加劑100～600mg/L組成的電鍍液進(jìn)行預(yù)鍍處理，然后在N₂的保護(hù)氣氛下于高頻爐中進(jìn)行融化，緊接著在銅粉合金中添加重量百分比為4.5％～6.5％的氧化鋁粉充分混合后球磨，最后在銅合金表面電鍍一層粗化的銅層；

3)第二酸洗：使用有機(jī)酸粗化液對(duì)步驟2)處理的引線框架進(jìn)行噴淋處理，然后進(jìn)行活化超純逆流水洗，緊接著將引線框架導(dǎo)入超聲波脫脂劑中進(jìn)行超聲波除油，超聲波脫脂劑的溫度為40～45℃，超聲波脫脂劑濃度為62～65g/L，超聲波除油時(shí)間為30～40S；

4)冷軋加工：將上述步驟處理的銅粉合金經(jīng)銑面去除氧化皮后進(jìn)行70～75％壓下率的冷軋加工；

5)退火處理：將冷軋加工得到的銅合金在520～560℃的條件下退火處理20～30min后，再次進(jìn)行40～45％壓下率的冷軋加工，隨后在530～535℃再次退火處理8～10min后，再進(jìn)行30～35％壓下率的冷軋加工到所需厚度，保溫30～40min后水淬，冷軋時(shí)效處理后得成品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種銅粗化無引腳封裝引線框架的制備方法，其特征在于所述步驟1)中的酸性溶液為硫酸、硝酸或磺酸中的一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種銅粗化無引腳封裝引線框架的制備方法，其特征在于所述有機(jī)酸粗化液的噴淋壓力為0.3～0.5MPa，有機(jī)酸粗化液的處理溫度為42～45℃，噴淋粗化的時(shí)間為2～4min。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種銅粗化無引腳封裝引線框架的制備方法，其特征在于所述步驟5)中的時(shí)效處理溫度為530～540℃，升溫時(shí)間為5～6h。