[發(fā)明專利]樹脂片的剝離方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010772205.7 | 申請(qǐng)日: | 2020-08-04 |
| 公開(公告)號(hào): | CN112349647A | 公開(公告)日: | 2021-02-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 齋藤良信 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 株式會(huì)社迪思科 |
| 主分類號(hào): | H01L21/683 | 分類號(hào): | H01L21/683 |
| 代理公司: | 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人: | 喬婉;于靖帥 |
| 地址: | 日本*** | 國(guó)省代碼: | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說(shuō)明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 樹脂 剝離 方法 | ||
1.一種樹脂片的剝離方法,從粘貼有樹脂片的板狀物將樹脂片剝離,其中,
該樹脂片的剝離方法具有如下的步驟:
樹脂片加熱步驟,對(duì)粘貼有樹脂片的板狀物的該樹脂片的端部進(jìn)行加熱,使該樹脂片從端部翻起而形成剝離起點(diǎn);以及
樹脂片去除步驟,從該剝離起點(diǎn)將該樹脂片剝離而將該樹脂片從板狀物去除。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹脂片的剝離方法,其中,
該樹脂片是不具有粘接材料層的樹脂片。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹脂片的剝離方法,其中,
該樹脂片在粘貼于板狀物的區(qū)域中具有不含粘接材料層的區(qū)域。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹脂片的剝離方法,其中,
在該樹脂片加熱步驟中,隔著該板狀物而對(duì)該樹脂片進(jìn)行加熱。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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