[發明專利]一種采用蒸散型吸氣劑的惰性氣體純化器在審
| 申請號： | 202010770017.0 | 申請日： | 2020-08-04 |
| 公開（公告）號： | CN111847406A | 公開（公告）日： | 2020-10-30 |
| 發明（設計）人： | 江曉松 | 申請（專利權）人： | 先普半導體技術（上海）有限公司 |
| 主分類號： | C01B23/00 | 分類號： | C01B23/00;B01D53/81;B01D53/75;B01D46/12 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201108 上海市閔*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 采用 蒸散 吸氣 惰性氣體 純化 | ||
1.一種采用蒸散型吸氣劑的惰性氣體純化器，其特征在于：包括蒸散型吸氣劑、吸氣劑支架、玻璃管道、法蘭、過濾網，其中吸氣劑支架在玻璃管道的內部，蒸散型吸氣劑固定在支架上，法蘭封接在玻璃管道上，玻璃管道兩端內置過濾網。
2.根據權利要求1所述的一種采用蒸散型吸氣劑的惰性氣體純化器，其特征在于：所述蒸散型吸氣劑采用外徑大于5mm，高度大于0.8mm的蒸散型吸氣劑。
3.根據權利要求1所述的一種采用蒸散型吸氣劑的惰性氣體純化器，其特征在于：所述的吸氣劑支架是耐熱陶瓷片或玻璃片，吸氣劑與支架固定在一起；吸氣劑支架：長度大于15mm，寬度大于5mm，高度大于5mm。
4.根據權利要求1所述的一種采用蒸散型吸氣劑的惰性氣體純化器，其特征在于：所述的玻璃管道：采用外徑（16-200）mm，長度大于100mm的耐高溫石英玻璃作為管道，管道內表面同時作為吸氣劑蒸散后釋出鋇膜的載體，純化過程中惰性氣體中的雜質氣體在管道內表面與鋇膜發生反應而被消除。
5.根據權利要求1所述的一種采用蒸散型吸氣劑的惰性氣體純化器，其特征在于：所述法蘭采用不銹鋼標準法蘭，便于與被純化系統管道的連接。
6.根據權利要求1所述的一種采用蒸散型吸氣劑的惰性氣體純化器，其特征在于：所述過濾網6采用目數大于60目不銹鋼過濾網，過濾氣體中的固體雜質，防止固體雜質進入被純化的系統。
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