[發明專利]一種克服激光微區原位測試中空間位置效應的多靶位剝蝕裝置

有效

• 申請號: 202010766686.0
• 申請日: 2020-08-03
• 公開（公告）號: CN111896527B
• 公開（公告）日: 2023-04-18
• 發明（設計）人: 高偉;黃運澤;劉崢;孔嘉康;史光宇
• 申請（專利權）人: 武漢上譜分析科技有限責任公司
• 主分類號: G01N21/73
• 分類號: G01N21/73;G01N27/62;B23K26/70;H01J49/04
• 代理公司: 武漢誠儒知識產權代理事務所(普通合伙) 42265
• 代理人: 劉天鈺

1.一種克服激光微區原位測試中空間位置效應的多靶位剝蝕裝置，至少包括樣品臺、激光頭以及剝蝕池，激光頭安裝于激光發生器上，其特征在于：所述剝蝕池通過連接桿固定于激光頭的正下方，所述剝蝕池為中空的結構，剝蝕池的頂部和底部均呈敞開式，其中頂部開口處密封安裝有供激光穿過的透明窗，其內部腔室由隔環分為內外兩層，內層為剝蝕腔，外層為真空腔，其中剝蝕腔的兩側分別設置有進氣管和出氣管，進氣管和出氣管均穿過真空腔通向外界，真空腔的側壁上設置有抽真空口，抽真空口與真空發生器相連接；剝蝕池的底部整體平整，且剝蝕池中池壁的底面和隔環的底面上均設置有環形密封圈；

所述樣品臺安裝于三軸位移平臺上，樣品臺為雙層板式結構，其中上層板和下層板之間通過滑軌和滑塊連接且上層板和下層板之間可相對平移，所述下層板通過螺栓固定于三軸位移平臺上，下層板上設置有用于將滑軌和滑塊進行鎖死的鎖緊裝置；上層板的頂面為平整光滑的平面，且上層板的頂面上分布有一個以上的分別用于放置不同規格靶樣的凹槽，凹槽的內壁上設置有環形密封圈。

2.根據權利要求1所述的一種克服激光微區原位測試中空間位置效應的多靶位剝蝕裝置，其特征在于：所述透明窗采用0.2mm厚氟化鈣玻璃，氟化鈣玻璃通過壓盤和螺釘連接固定在剝蝕池頂部開口處。

3.根據權利要求1所述的一種克服激光微區原位測試中空間位置效應的多靶位剝蝕裝置，其特征在于：所述進氣管中進氣孔的孔徑為0.5mm，出氣管中出氣孔的孔徑為3mm。

4.根據權利要求1所述的一種克服激光微區原位測試中空間位置效應的多靶位剝蝕裝置，其特征在于：所述上層板上設置有三個凹槽，分別用于放置直徑為2.54cm、1.6cm、1.0cm三個規格的靶樣。

5.根據權利要求1所述的一種克服激光微區原位測試中空間位置效應的多靶位剝蝕裝置，其特征在于：所述三軸位移平臺通過操作桿或操控軟件實現樣品臺在X、Y、Z三軸方向上的精密位移。

6.根據權利要求1所述的一種克服激光微區原位測試中空間位置效應的多靶位剝蝕裝置，其特征在于：上層板的邊沿處設置有把手。