[發明專利]一種基于雙波長干涉的超高精度面形測量方法在審
| 申請號： | 202010766265.8 | 申請日： | 2020-08-03 |
| 公開（公告）號： | CN111998790A | 公開（公告）日： | 2020-11-27 |
| 發明（設計）人： | 劉鋒偉;吳永前;肖向海;陳小君 | 申請（專利權）人： | 中國科學院光電技術研究所 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24;G01M11/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 610209 *** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 波長 干涉 超高 精度 測量方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于雙波長干涉的超高精度面形測量方法，其特征在于，所述方法包括：利用兩臺具有不同中心波長的可調諧激光器基于菲索干涉結構對被測件進行同步測量，分別控制兩臺激光器移動預設的不同步長來實現相同的固定相移步長，對CCD采集得到的一系列具有固定相移間隔的組合干涉條紋利用定步長/等步長相移算法進行相位恢復可得到一個較短合成波長下的對應相位分布，利用解包裹算法可計算得到最終面形相位。
2.如權利要求1所述的一種基于雙波長干涉的超高精度面形測量方法，其特征在于：所述的兩臺不同中心波長的可調諧激光器中心波長相差應小于10nm。
3.如權利要求1所述的一種基于雙波長干涉的超高精度面形測量方法，其特征在于：所述的被測件可以使平面也可以是球面和非球面。
4.如權利要求1所述的一種基于雙波長干涉的超高精度面形測量方法，其特征在于：所述的固定相移步長可以為pi/2，也可以為pi/4。
5.如權利要求1所述的一種基于雙波長干涉的超高精度面形測量方法，其特征在于：所述的較短合成波長一般為單一波長長度的1/2左右，具體可以通過公式計算得到，λ1，λ2為兩個激光波長，λs為合成波長。
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