[發(fā)明專利]真空除靜電系統

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• 申請日: 2020-08-03
• 公開（公告）號: CN111901954A
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發(fā)明（設計）人: 史延鋒;史延庫
• 申請（專利權）人: 蘇州盟螢電子科技有限公司
• 主分類號: H05F3/04
• 分類號: H05F3/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種真空除靜電系統，用于消除真空作業(yè)腔室中的靜電，其特征在于：包括

除靜電裝置，與真空作業(yè)腔室密封連接，所述除靜電裝置包括真空光源，所述真空光源產生的光線直接照射所述真空作業(yè)腔室內并在其中生成離子；

自動遮擋裝置，與真空作業(yè)腔室密封連接，所述自動遮擋裝置包括遮光部及驅動機構，所述遮光部設于光線形成的光路上，所述驅動機構自動控制所述遮光部將光路打開或關閉。

2.如權利要求1所述的真空除靜電系統，其特征在于：所述驅動機構包括固定座、可相對于固定座轉動的軸部、將軸部與固定座密封連接的密封部，所述軸部的一端突伸出所述固定座，所述遮光部設于所述軸部的一端并在所述軸部的帶動下轉動。

3.如權利要求2所述的真空除靜電系統，其特征在于：所述固定座包括相互連接的氣缸座及密封座，所述軸部包括氣缸軸及與所述氣缸軸同軸連接的輸出軸，所述輸出軸的一端突伸出所述密封座，所述遮光部安裝于輸出軸的一端。

4.如權利要求1所述的真空除靜電系統，其特征在于：所述驅動機構包括氣缸組件及密封組件，所述氣缸組件包括氣缸座及氣缸軸，所述密封組件包括密封座、輸出軸及設于所述輸出軸與密封座之間的密封部，所述輸出軸與氣缸軸同軸連接，所述輸出軸的一端突伸出所述密封座，所述遮光部安裝于輸出軸的一端。

5.如權利要求3或4所述的真空除靜電系統，其特征在于：所述密封部為磁流體組件，所述磁流體組件設于所述輸出軸與密封座之間，以對輸出軸進行密封，所述遮光部為擋板，所述擋板的一側邊緣與所述輸出軸的一端固定連接，所述氣缸軸的轉動范圍為0°至95°。

6.如權利要求3或4任一項所述的真空除靜電系統，其特征在于：所述真空除靜電系統還包括連接裝置，所述連接裝置包括圓筒狀本體、設于圓筒狀本體兩端的第一開口部及第二開口部以及設于圓筒狀本體側壁的第三開口部，所述圓筒狀內部形成連接腔，所述除靜電裝置通過第一開口部與所述連接裝置密封連接，所述自動遮擋裝置通過所述第三開口部與所述連接裝置密封連接，所述真空作業(yè)腔室通過所述第二開口部與所述連接裝置密封連接，所述真空光源產生的光線通過所述連接腔照進所述真空作業(yè)腔室內。

7.如權利要求6所述的真空除靜電系統，其特征在于：所述第一開口部包括第一開口及第一開口外側的第一法蘭，所述連接裝置還包括設于第一開口部與真空光源之間的子連接件，所述子連接件的一端與所述真空光源螺紋密封配合，另一端與第一法蘭密封連接。

8.如權利要求6所述的真空除靜電系統，其特征在于：所述第二開口部包括第二開口及第二開口外側的第二法蘭，所述真空作業(yè)腔室設有第四開口及第四法蘭，所述第二法蘭與所述第四法蘭密封配合。

9.如權利要求6所述的真空除靜電系統，其特征在于：所述第三開口部包括第三開口及圍設于第三開口外的筒部，所述密封座的一端外周設有螺紋部，所述筒部內側設有與所述螺紋部密封配合的內螺紋，所述輸出軸的一端穿過所述第三開口部伸入所述連接腔內，并帶動所述遮光部在所述連接腔內轉動。

10.如權利要求7所述的真空除靜電系統，其特征在于：所述除靜電裝置為真空紫外離子發(fā)生器，所述真空光源為紫外燈，所述紫外燈產生的紫外線波長范圍為110nm-400nm；所述自動遮擋裝置還包括控制部，所述控制部與所述驅動機構信號連接，所述控制部根據所述真空作業(yè)腔室中的產品位置控制所述遮光部將光路打開或關閉。