[發明專利]一種顯影噴頭

在審

• 申請號: 202010763107.7
• 申請日: 2020-07-31
• 公開（公告）號: CN111856893A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 徐權鋒
• 申請（專利權）人: 芯米（廈門）半導體設備有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 廈門仕誠聯合知識產權代理事務所(普通合伙) 35227
• 代理人: 吳圳添

1.一種顯影噴頭，包括第一固定塊(1)，所述第一固定塊(1)上端中部與限位殼(4)相固定，所述限位殼(4)上端中部開設有噴口(5)，所述限位殼(4)下側表面設置有限位環(6)，所述限位殼(4)下單與固定桿(7)固定成一體，所述固定桿(7)下端表面設置有螺紋(8)；

其特征在于：還包括輔助機構(2)和固定裝置(3)，所述輔助機構(2)上端與所述第一固定塊(1)緊密貼合，所述固定裝置(3)下端與所述第一固定塊(1)貫通連接，所述輔助機構用于與外部件進行固定以防止所述顯影噴頭掉落。

2.根據權利要求1所述的一種顯影噴頭，其特征在于：所述輔助機構(2)包括限位板(21)、限位槽(22)、第二固定塊(23)、第一夾塊(24)、第一扭力彈簧(25)、第二夾塊(26)、第二扭力彈簧(27)、第三夾塊(28)和第三扭力彈簧(29)，所述限位板(21)后側上端開設有所述限位槽(22)，所述限位板(21)右下端與所述第二固定塊(23)相固定，所述第二固定塊(23)左右兩側與所述第一夾塊(24)轉動連接，所述第一夾塊(24)后側左端與所述第一扭力彈簧(25)相固定，所述第一扭力彈簧(25)左端與所述第二夾塊(26)固定成一體，所述第二夾塊(26)后端左側與所述第二扭力彈簧(27)通過焊接固定，所述第二扭力彈簧(27)后端與所述第三夾塊(28)固定成一體，所述第三夾塊(28)前側右端與第三扭力彈簧(29)相固定，所述限位板(21)上端與所述第一固定塊(1)緊密貼合。

3.根據權利要求2所述的一種顯影噴頭，其特征在于：所述固定裝置(3)包括第三固定塊(31)、凹槽(32)、螺紋桿(33)和限位裝置(34)，所述第三固定塊(31)上端中部開設有所述凹槽(32)，所述第三固定塊(31)下端與所述螺紋桿(33)固定成一體，所述螺紋桿(33)下端側面設置有所述限位裝置(34)，所述螺紋桿(33)下端與所述第一固定塊(1)貫通連接。

4.根據權利要求3所述的一種顯影噴頭，其特征在于：所述限位裝置(34)包括外殼(341)、彈簧(342)、限位塊(343)和凸塊(344)，所述外殼(341)內側底部與所述彈簧(342)通過焊接固定，所述彈簧(342)上端與所述限位塊(343)相固定，所述限位塊(343)上端與所述凸塊(344)固定成一體，所述凸塊(344)下端與所述限位槽(22)緊密貼合。

5.根據權利要求2所述的一種顯影噴頭，其特征在于：所述限位槽(22)共設置有兩個，且所述限位槽(22)中部開設有與所述凸塊(344)半圓弧相同的固定槽。

6.根據權利要求2所述的一種顯影噴頭，其特征在于：所述第一扭力彈簧(25)最大可伸展的長度為3cm，且所述第一扭力彈簧(25)設置的牽引力為10N。

7.根據權利要求2所述的一種顯影噴頭，其特征在于：所述第二固定塊(23)共設置有三個，且所述第二固定塊(23)沿所述限位板(21)圓心呈環形陣列等距分布在所述限位板(21)下端。

8.根據權利要求3所述的一種顯影噴頭，其特征在于：所述螺紋桿(33)設置的長度為5cm，且所述螺紋桿(33)表面設置的螺紋間距為1mm。

9.根據權利要求4所述的一種顯影噴頭，其特征在于：所述凸塊(344)呈半圓狀，且所述凸塊(344)上端與所述螺紋桿(33)貫通連接。

10.根據權利要求9所述的一種顯影噴頭，其特征在于：所述凸塊(344)沿所述螺紋桿(33)橫向中心軸呈對稱分布。