[發(fā)明專利]一種超高精度的硅象限光電探測器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010762493.8
• 申請日: 2020-07-31
• 公開（公告）號: CN112054075B
• 公開（公告）日: 2023-01-06
• 發(fā)明（設計）人: 卜京;王亞赫;卜暉;朱華海
• 申請（專利權）人: 重慶鷹谷光電股份有限公司
• 主分類號: H01L31/0352
• 分類號: H01L31/0352;H01L31/103
• 代理公司: 重慶百潤洪知識產(chǎn)權代理有限公司 50219
• 代理人: 程宇

1.一種超高精度的硅象限光電探測器，其在各象限光敏元之間及其周圍的襯底表面上設置一環(huán)極，該環(huán)極是用與襯底同型雜質(zhì)，并與襯底背面電極同時擴散或注入形成的高低結，所述環(huán)極通過引線與襯底背面的各象限光敏元的公共電極直接相連，其特征在于：

在“雙四”象限光電探測器的“內(nèi)四”象限光敏元和“外四”象限光敏元之間不設置環(huán)極，從而形成“內(nèi)四”環(huán)極缺口，或者，在“單四”象限光電探測器的光敏元弧邊所對應的環(huán)極的中間部位開設一個缺口，該缺口的寬度為該光敏元外沿弧長的1/2～1/4長度。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種超高精度的硅象限光電探測器，其特征在于，在“雙四”象限光電探測器的“外四”光敏元外沿所對應的環(huán)極或者“單四”象限光電探測器的光敏元外沿所對應的環(huán)極外邊0.1～0.15mm處，再設置0.2～0.5mm寬度的環(huán)形隔離二極管，該隔離二極管與各光敏元摻入的雜質(zhì)同型，且同時擴散或注入而成。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的一種超高精度的硅象限光電探測器，其特征在于，所述環(huán)極是依硅象限光電探測器各象限光敏元的數(shù)量和形狀而定，對于硅象限光電探測器的管芯是圓形的“單四”象限光電探測器，它的管芯由四個扇形的光敏元構成，則環(huán)極的形狀是一個帶四個對稱缺口的環(huán)形加十字形的組合形狀；對于硅象限光電探測器的管芯是圓形的“雙四”象限光電探測器，它的管芯是由“內(nèi)四”和“外四”八個扇形的象限光敏元構成，則環(huán)極的形狀是一個僅“外四”帶同心的環(huán)形加經(jīng)過“內(nèi)四”的大十字形組合成的網(wǎng)狀形狀。