[發明專利]一種基于PDMS的塊材轉移固定方法

有效

• 申請號: 202010761186.8
• 申請日: 2020-07-31
• 公開（公告）號: CN111912683B
• 公開（公告）日: 2023-01-06
• 發明（設計）人: 王華兵;田王昊;陳士縣;徐祖雨;王永磊;孫漢聰;吳培亨
• 申請（專利權）人: 南京大學
• 主分類號: G01N1/28
• 分類號: G01N1/28;G01N1/34;G01N1/44
• 代理公司: 亳州速誠知識產權代理事務所(普通合伙) 34157
• 代理人: 劉佳

1.一種基于PDMS的塊材轉移固定方法，包括步驟一，準備工作；步驟二，處理單晶：步驟三，涂膠：步驟四，轉移單晶；其特征在于，步驟一中包括：

a.打開二維轉移平臺，將平臺加熱裝置溫度設置在65度，并使平臺的樣品臺溫度維持在65度左右；

b.將木牙簽削尖；

c.提前配置好環氧樹脂；

所述步驟二中包括：

a.使用Nitto 藍膜膠帶將塊狀的材料多次解理，并將解理完成的單晶轉移到PDMS上；

b.使用牙簽將PDMS上單晶附近的雜物除去；

所述步驟三中包括：

a.將裝有PDMS和樣品的載玻片置于光學顯微鏡下，調整焦距使移動顯微鏡樣品臺，使單晶處于顯微鏡視野中心位置；

b.使用削尖后的木牙簽，蘸取少許環氧樹脂，然后借助光學顯微鏡，將環氧樹脂涂在樣品表面；

所述步驟四中包括：

a.將涂完環氧樹脂后的載玻片裝載到二維轉移平臺夾片臺上，借助二維轉移平臺上的顯微鏡將樣品對準襯底合適的位置；

b.下壓夾片臺，使樣品與襯底目標位置進行貼合，應盡量保證貼合緊密；

c.持續65度加熱5到8分鐘，加熱過程中保持樣品和襯底之間無相對位移；

d.加熱完成后，移開夾片臺，取出樣品，完成轉移；

所述步驟二中，藍膜膠帶黏性低，解理過程中不易留下殘膠，從而減少樣品的污染；所述步驟二解理中挑出線狀單晶最小單元，單晶包括塊狀單晶和線狀單晶；所述步驟二將單晶轉移到PDMS上，再涂環氧樹脂。

2.根據權利要求1所述的一種基于PDMS的塊材轉移固定方法，其特征在于，所述步驟四中單晶和襯底之間的環氧樹脂之間含有的氣泡去除。

3.根據權利要求1所述的一種基于PDMS的塊材轉移固定方法，其特征在于，所述步驟四中下壓夾片臺擠壓出多余的環氧樹脂，PDMS較為柔軟，夾片臺通過載玻片擠壓PDMS，使得PDMS與柱狀單晶接觸面增多，擠出多余的環氧樹脂。

4.根據權利要求1所述的一種基于PDMS的塊材轉移固定方法，其特征在于，所述環氧樹脂覆蓋單晶側面，在制備電極時側面固化的環氧樹脂。

5.根據權利要求1所述的一種基于PDMS的塊材轉移固定方法，其特征在于，利用聚二甲基硅氧烷薄膜對塊材或者二維材料進行轉移固定，利用PDMS轉移塊材到襯底，并借助PDMS和環氧樹脂固定塊材和襯底。

6.根據權利要求1所述的一種基于PDMS的塊材轉移固定方法，其特征在于，所述步驟四夾片臺下降到一定高度后，小范圍內左右移動或前后移動，去除單晶和襯底之間的環氧樹脂之間含有的氣泡。