[發明專利]使用帶電粒子顯微鏡檢查樣品的方法

在審

• 申請號: 202010756834.0
• 申請日: 2020-07-31
• 公開（公告）號: CN112394076A
• 公開（公告）日: 2021-02-23
• 發明（設計）人: T·圖瑪;J·克盧薩切克;J·派特雷克
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G01N23/20091
• 分類號: G01N23/20091;G01N23/2206;G01N23/04;G01N23/046;G01N23/203;H01J37/28
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張凌苗;申屠偉進

1.一種使用帶電粒子顯微鏡檢查樣品的方法，其包含以下步驟：

- 提供帶電粒子射束以及樣品；

- 使所述帶電粒子射束在所述樣品上掃描；

- 使用第一檢測器檢測因響應于樣品的掃描射束而產生的來自所述樣品的第一類型的發射；

- 使用檢測到的所述第一類型的發射的光譜信息，將多個相互不同的相位分配給所述樣品；

- 參考HSV顏色空間，使對應的多個不同顏色色調與所述多個相互不同的相位相關聯；

- 使用第二檢測器檢測因響應于樣品的掃描射束而產生的來自所述樣品的第二類型的發射；和

- 通過控制單元提供所述樣品的圖像表示，其中使用所述第二類型的發射進行，并且其中所述圖像表示含有用于表示所述多個不同相位的相關聯的不同顏色色調。

2.根據權利要求1所述的方法，其中所述方法包含提供光譜數據棧和將所述檢測到的所述第一類型的發射和/或所述檢測到的所述第一類型的發射的光譜信息存儲在所述光譜數據棧中的步驟。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其中所述方法包含提供化學組成數據棧和將所述多個相互不同的相位存儲在所述化學組成數據棧中的步驟。

4.根據權利要求1、2或3所述的方法，其中所述方法包含提供顏色數據棧和將所述多個不同顏色色調存儲在所述顏色數據棧中的步驟。

5.根據權利要求2、3或4所述的方法，其中所述數據棧中的至少一個包含多個數據棧層。

6.根據權利要求5所述的方法，其中所述多個數據棧層中的至少一個包含若干像素，其中每個像素與所述樣品的一部分相關聯。

7.根據權利要求6所述的方法，其中對于每個數據棧層，所述像素的數量基本上不同。

8.根據權利要求2到6或權利要求2到7所述的方法，其中層和像素的數量在所述光譜數據棧、所述化學組成棧和所述顏色數據棧中是相同的。

9.根據前述權利要求中的一項或多項所述的并且從屬于權利要求4的方法，其包含通過展平所述顏色數據棧提供混合棧并在提供所述圖像表示時使用所述混合棧的步驟。

10.根據權利要求9所述的方法，其包含將所述混合棧與檢測到的所述第二類型的發射相結合以提供所述圖像表示的步驟。

11.根據權利要求1到10所述的方法，其中所述第一檢測器包含EDS檢測器。

12.根據權利要求1到11所述的方法，其中所述第二檢測器包含電子檢測器，如BSE檢測器。

13.一種帶電粒子顯微鏡，其用于使用根據前述權利要求中的一項或多項所述的方法檢查樣品，并且其包含：

- 光學柱，所述光學柱包括帶電粒子源、終端探針形成透鏡和掃描儀，用于將從所述帶電粒子源發射的帶電粒子射束聚焦到標本上；

- 標本臺，所述標本臺位于所述終端探針形成透鏡的下游并布置成用于固持所述標本；

- 第一檢測器，所述第一檢測器用于檢測因響應于所述帶電粒子源發射的帶電粒子的入射而產生的源自所述標本的第一類型的發射；

- 第二檢測器，所述第二檢測器用于檢測因響應于所述帶電粒子源發射的帶電粒子的入射而產生的源自所述標本的第二類型的發射；

- 控制單元和處理設備，所述控制單元和處理設備連接到所述第一檢測器；

其中所述帶電粒子顯微鏡布置成用于實行根據前述權利要求中的一項或多項所述的方法。