[發明專利]離子源裝置

在審

• 申請號: 202010752790.4
• 申請日: 2020-07-30
• 公開（公告）號: CN111769024A
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發明（設計）人: 劉偉基;趙剛;冀鳴;易洪波
• 申請（專利權）人: 中山市博頓光電科技有限公司;佛山市博頓光電科技有限公司
• 主分類號: H01J27/14
• 分類號: H01J27/14;H01J27/02
• 代理公司: 北京市立方律師事務所 11330
• 代理人: 劉延喜

1.一種離子源裝置，其特征在于，包括：

一霍爾離子源以及至少兩個中空陰極；

各個所述中空陰極設于距離所述霍爾離子源一設定位置處；

各個所述中空陰極設計為所述霍爾離子源提供中和電子，且在其中任何一個中空陰極失效時，切換至其他中空陰極向所述霍爾離子源提供中和電子。

2.根據權利要求1所述的離子源裝置，其特征在于，還包括：與各個中空陰極的進氣口連接的供氣管道，所述供氣管道用于向各個中空陰極供應氣體。

3.根據權利要求2所述的離子源裝置，其特征在于，各個所述中空陰極的進氣口前安裝有電磁閥，用于對流入中空陰極的氣體進行選通控制。

4.根據權利要求3所述的離子源裝置，其特征在于，還包括：安裝在所述供氣管道上的氣體流量計，用于統計和控制所述供氣管道中的氣體流量。

5.根據權利要求4所述的離子源裝置，其特征在于，還包括：連接各個所述電磁閥的控制裝置，用于輸出控制信號控制所述電磁閥進行關閉或者選通。

6.根據權利要求5所述的離子源裝置，其特征在于，所述控制裝置還通過網絡連接遠程控制平臺，其中，所述遠程控制平臺用于對所述離子源裝置進行遠程監測和遠程控制。

7.根據權利要求5所述的離子源裝置，其特征在于，還包括：連接所述控制裝置的人機交互系統，用于接收用戶輸入的操作指令以及顯示相關信息。

8.根據權利要求5-7任一項所述的離子源裝置，其特征在于，所述控制裝置，用于檢測運行中的中空陰極是否失效，且在所述中空陰極失效時，輸出控制信號選通備用的中空陰極的電磁閥，通過備用的中空陰極向所述霍爾離子源提供中和電子，并輸出控制信號關閉失效的中空陰極對應的電磁閥以停止失效的中空陰極的運行。

9.根據權利要求8所述的離子源裝置，其特征在于，所述控制裝置，還用于記錄中空陰極的使用時間，并根據所述使用時間計算所述中空陰極的預計失效時間，并在所述預計失效時間前檢測所述中空陰極是否失效。

10.根據權利要求8所述的離子源裝置，其特征在于，所述控制裝置用于檢測所述霍爾離子源的電壓和電流數據，根據所述電壓和電流數據檢測中空陰極是否失效。