[發明專利]主軸組件

在審

• 申請號: 202010749918.1
• 申請日: 2020-07-30
• 公開（公告）號: CN111843823A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 劉遠航;趙德文;付永旭
• 申請（專利權）人: 華海清科股份有限公司
• 主分類號: B24B41/04
• 分類號: B24B41/04;B24B41/02;B24B35/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種主軸組件，其特征在于，用于基板磨削設備，所述基板磨削設備包括工作臺，所述主軸組件包括主軸、第一部件和第二部件，所述第一部件用于可滑動地連接到所述工作臺，所述第二部件用于可拆卸地連接到所述第一部件，在所述主軸組件安裝到所述工作臺時，所述第一部件和第二部件圍繞所述主軸設置，將所述主軸剛性地保持在位，所述第一部件能確定所述主軸在所述工作臺中的位姿，在第二部件從第一部件拆卸時，主軸能從第一部件沿主軸的徑向移除。

2.根據權利要求1所述的主軸組件，其特征在于，

所述第一部件包括：

主體部，其沿主軸圓周的一部分圍繞主軸側部圓柱狀外表面設置，所述主體部的內表面的一部分形成為與主軸側部圓柱狀外表面形狀互補的圓柱狀內表面，用于與主軸側部圓柱狀外表面配合，并且在沿主軸圓周的其余部分處形成止口，所述止口大小設置為能使主軸從所述止口移出；

主軸軸向定位部，其形成為垂直于主軸軸向方向的平坦表面用于與主軸的相應表面配合，以將主軸沿軸向方向定位；

翼板，從主體部外表面向外延伸，用于將第一部件安裝到工作臺；

其中，第一部件的翼板、圓柱狀內表面和主軸軸向定位部確定安裝其中的主軸在工作臺上的位姿，所述第二部件在所述止口處可拆卸地連接到第一部件。

3.根據權利要求2所述的主軸組件，其特征在于，所述第一部件的主體部還包括切向延長部，在所述第一部件的主體部內表面的側部邊緣處、止口的兩側，使所述止口限定的開口向外擴，便于主軸從止口進入第一部件的主體部或從主體部經由止口移除。

4.根據權利要求3所述的主軸組件，其特征在于，所述切向延長部為在止口的兩側從所述主體部的圓柱狀內表面相切延伸的平面部。

5.根據權利要求2所述的主軸組件，其特征在于，所述翼板還包括主軸位姿調節裝置，用于調節主軸相對于工作臺的上下位置、左右擺動角度以及前后俯仰角度。

6.根據權利要求5所述的主軸組件，其特征在于，所述主軸位姿調節裝置包括設置在所述翼板上的定位銷以及調節螺釘，所述調節螺釘穿過安裝到工作臺的調節基準板連接到所述翼板。

7.根據權利要求5所述的主軸組件，其特征在于，所述主軸位姿調節裝置包括楔形墊板，在所述翼板安裝到工作臺時，部分地設置在翼板與工作臺安裝面之間，通過調節楔形墊板位于翼板與工作臺安裝面之間的部分的大小來微調第一部件的俯仰角度。

8.根據權利要求5所述的主軸組件，其特征在于，所述主軸位姿調節裝置包括安裝在所述翼板上的驅動電機，用于在第一安裝座安裝到工作臺時驅動第一安裝座在豎直方向移動。

9.根據權利要求8所述的主軸組件，其特征在于，所述翼板在安裝驅動電機位置處包括增厚部，以增強翼板。