[發明專利]主軸組件、主軸安裝座、基板磨削設備及主軸拆裝方法

有效

• 申請號: 202010749102.9
• 申請日: 2020-07-30
• 公開（公告）號: CN111823134B
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發明（設計）人: 劉遠航;趙德文;付永旭
• 申請（專利權）人: 華海清科股份有限公司
• 主分類號: B24B41/047
• 分類號: B24B41/047;B24B7/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種主軸組件，其特征在于，用于基板磨削設備，所述基板磨削設備包括工作臺，所述主軸組件包括主軸、第一部件和第二部件，所述第一部件用于可滑動地連接到所述工作臺，所述第二部件用于可拆卸地連接到所述第一部件，在所述主軸組件安裝到所述工作臺時，所述第一部件和第二部件圍繞所述主軸設置，將所述主軸剛性地保持在位，所述第一部件能確定所述主軸在所述工作臺中的位姿，在第二部件從第一部件拆卸時，主軸能從第一部件沿主軸的徑向移除，

其中，所述第一部件包括：

主體部，其沿主軸圓周的一部分圍繞主軸側部圓柱狀外表面設置，所述主體部的內表面的一部分形成為與主軸側部圓柱狀外表面形狀互補的圓柱狀內表面，用于與主軸側部圓柱狀外表面配合，并且在沿主軸圓周的其余部分處形成止口，所述止口大小設置為能使主軸從所述止口移出；

主軸軸向定位部，其形成為垂直于主軸軸向方向的平坦表面用于與主軸的相應表面配合，以將主軸沿軸向方向定位；

翼板，從主體部外表面向外延伸，用于將第一部件安裝到工作臺；

其中，所述第一部件的翼板、圓柱狀內表面和主軸軸向定位部確定安裝其中的主軸在工作臺上的位姿，所述第二部件在所述止口處可拆卸地連接到第一部件，

其中，所述第一部件的主體部還包括切向延長部，在所述第一部件的主體部內表面的側部邊緣處、止口的兩側，使所述止口限定的開口向外擴，便于主軸從止口進入第一部件的主體部或從主體部經由止口移除，所述切向延長部的特征尺寸D設置大于等于R/4且小于等于R/3。

2.根據權利要求1 所述的主軸組件，其特征在于，所述切向延長部為在止口的兩側從所述主體部的圓柱狀內表面相切延伸的平面部。

3.根據權利要求1所述的主軸組件，其特征在于，所述第一部件的主軸軸向定位部為所述第一部件的主體部的底面。

4.根據權利要求3所述的主軸組件，其特征在于，所述主軸軸向定位部還包括從主體部內表面沿徑向方向向里或向外延伸形成至少部分環形形狀的突出部或凹槽，所述環形形狀的突出部或凹槽的垂直于軸向方向的平坦表面用于與主軸的相應表面配合，以將主軸沿軸向方向定位。

5.根據權利要求4所述的主軸組件，其特征在于，主軸側部圓柱狀外表面和與其配合的第一主體部的圓柱狀內表面的圓柱度優于0.015mm，突出部或凹槽的配合表面與主體部的圓柱狀內表面之間的垂直度優于0.02mm，突出部或凹槽的內徑比安裝法蘭的外徑大0.05-0.08mm。

6.根據權利要求5所述的主軸組件，其特征在于，所述第二部件包括主體部，所述第二部件的主體部的一部分形成為與主軸側部圓柱狀外表面形狀互補的圓柱狀內表面，還包括與所述第一部件對應的突出部或凹槽，所述第二部件與第一部件配合，通過各自的底面、突出部或凹槽以及圓柱狀內表面將主軸緊固并且定位。

7.根據權利要求1-6中任一項所述的主軸組件，其特征在于，所述第二部件與第一部件一起合圍所述主軸的圓周，所述第一部件在側向端面包括緊固件安裝孔，所述第二部件在側部具有與所述第一部件的安裝孔對應的緊固件安裝孔，第二部件通過穿過第二部件的緊固件安裝孔固定在第一部件的緊固件安裝孔中的緊固件可拆卸地連接到第一部件。

8.根據權利要求1-6中任一項所述的主軸組件，其特征在于，所述第一部件的外表面上還包括增強肋部，用于增強第一部件，并且確保第一部件在工作臺上的定位和保持。

9.一種主軸安裝座，其特征在于，包括根據權利要求1-8中任一項所述的第一部件和第二部件。

10.一種基板磨削設備，其特征在于，包括豎直工作臺、水平工作臺、根據權利要求1-8中任一項所述的主軸組件，所述主軸組件安裝到豎直工作臺，通過安裝到主軸的磨削工具加工安裝到水平工作臺上的基板。

11.一種主軸拆裝方法，用于基板磨削設備，其特征在于，包括以下步驟：

使用根據權利要求1-8中所述的主軸組件；

將所述第一部件連接到所述磨削設備的工作臺；

將所述主軸裝配到所述第一部件；

將所述第二部件連接到所述第一部件，由此所述第一部件和第二部件圍繞所述主軸設置，將所述主軸保持在位；

調節所述第一部件來調節所述主軸在所述工作臺中的位姿；

在需要更換所述主軸時，將所述第二部件從所述第一部件拆卸，并將所述主軸沿徑向方向移除；

將更換的新的主軸沿徑向方向裝配到所述第一部件，并且將所述第二部件連接到所述第一部件，所述第一部件將所述新的主軸保持為與之前的所述主軸位姿一致。