[發明專利]加工裝置在審
| 申請號： | 202010748933.4 | 申請日： | 2020-07-30 |
| 公開（公告）號： | CN112309911A | 公開（公告）日： | 2021-02-02 |
| 發明（設計）人： | 大森崇史 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帥;黃綸偉 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 加工 裝置 | ||
1.一種加工裝置，其具有：
卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；
加工單元，其對該卡盤工作臺所保持的該被加工物進行加工；
觸摸面板，其輸入加工條件；以及
控制單元，其對該觸摸面板進行控制，
其特征在于，
該控制單元使該觸摸面板顯示與該加工條件所包含的多個項目對應的多個輸入欄，
當選擇多個該輸入欄中的一個輸入欄時，在該觸摸面板上顯示復制處理鍵和粘貼處理鍵，
當選擇該復制處理鍵時，輸入到該一個輸入欄中的信息被復制，
當選擇該粘貼處理鍵時，預先復制的信息被輸入到該一個輸入欄中。
2.根據權利要求1所述的加工裝置，其特征在于，
當選擇該一個輸入欄時，在該觸摸面板上還顯示轉記處理鍵，
當選擇該轉記處理鍵時，輸入到該一個輸入欄中的信息被輸入到其他的該輸入欄。
3.根據權利要求1或2所述的加工裝置，其特征在于，
該控制單元使該觸摸面板還顯示如下的輸入部：該輸入部具有信息輸入欄和用于向多個該輸入欄輸入信息的多個輸入鍵，并且該輸入部作為計算器來發揮功能，
在選擇了該一個輸入欄的狀態下選擇了該復制處理鍵之后，當在選擇了該信息輸入欄的狀態下選擇該粘貼處理鍵時，輸入到該一個輸入欄中的信息被輸入到該信息輸入欄。
4.根據權利要求2所述的加工裝置，其特征在于，
該控制單元使該觸摸面板還顯示如下的輸入部：該輸入部具有信息輸入欄和用于向多個該輸入欄輸入信息的多個輸入鍵，并且該輸入部作為計算器來發揮功能，
當選擇該轉記處理鍵時，輸入到該一個輸入欄中的信息被輸入到該信息輸入欄。
5.根據權利要求1至4中的任意一項所述的加工裝置，其特征在于，
當選擇該一個輸入欄時，在該觸摸面板上還顯示有一個或多個歷史轉記處理鍵，該歷史轉記處理鍵顯示以前輸入到該一個輸入欄中的信息，
當選擇該歷史轉記處理鍵時，顯示在所選擇的該歷史轉記處理鍵中的信息被輸入到該一個輸入欄。
6.根據權利要求1至5中的任意一項所述的加工裝置，其特征在于，
該復制處理鍵和該粘貼處理鍵的選擇是通過輕拂操作來進行的。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
