[發明專利]等離激元濾色器

有效

• 申請號: 202010748149.3
• 申請日: 2020-07-30
• 公開（公告）號: CN111736245B
• 公開（公告）日: 2022-01-28
• 發明（設計）人: 鄭夢潔;董君
• 申請（專利權）人: 季華實驗室
• 主分類號: G02B5/00
• 分類號: G02B5/00;G02B5/28
• 代理公司: 北京開陽星知識產權代理有限公司 11710
• 代理人: 羅程凱

1.等離激元濾色器，包括若干個濾色單元，其特征是，每個濾色單元包括縱向依序層疊的反射層、中間層和諧振體，諧振體由在可見光波段具有反常色散光學特性的材料制成。

2.如權利要求1所述的等離激元濾色器，其特征是，諧振體由鍺制成。

3.如權利要求1所述的等離激元濾色器，其特征是，中間層由尺寸可受控變化的材料制成，以使中間層的縱向厚度可受控變化。

4.如權利要求3所述的等離激元濾色器，其特征是，還包括電控裝置，中間層由PEG的二硫基改性物的有機分子材料或硫化鎘壓電材料制成，電控裝置與中間層連接以可通過電控方式改變中間層的厚度。

5.如權利要求1所述的等離激元濾色器，其特征是，諧振體的橫截面是圓形的。

6.如權利要求5所述的等離激元濾色器，其特征是，若干個濾色單元沿X方向排列多行，且沿Y方向排列形成多列，每行中任意兩個相鄰的濾色單元的周期與該兩個濾色單元的諧振體的所述橫截面的直徑之比均為2:1，每列中任意兩個相鄰的濾色單元的周期與該兩個濾色單元的諧振體的所述橫截面的直徑之比均為2:1，

所述周期為該兩個相鄰的濾色單元的諧振體的所述橫截面的中心之間的距離，

X方向與Y方向相互垂直，被X方向與Y方向共同確定的平面為基準面，所述橫截面為被基準面或與基準面平行的平面截取的截面。

7.如權利要求5所述的等離激元濾色器，其特征是，所述橫截面的直徑大于等于40nm且小于等于100nm。

8.如權利要求7所述的等離激元濾色器，其特征是，諧振體的縱向厚度為60nm。

9.如權利要求1所述的等離激元濾色器，其特征是，還包括透光的襯底，在每個濾色單元中，襯底、諧振體、中間層、反射層依序層疊。

10.如權利要求1所述的等離激元濾色器，其特征是，所有濾色單元的反射層為一體的。

11.如權利要求1所述的等離激元濾色器，其特征是，所有濾色單元的中間層為一體的。