[發(fā)明專利]形狀測定裝置和形狀測定方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010744789.7
• 申請日: 2020-07-29
• 公開（公告）號: CN112304270A
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石井一成;竹村文宏
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社三豐
• 主分類號: G01B21/20
• 分類號: G01B21/20
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種形狀測定裝置，對測定對象的形狀進(jìn)行測定，所述測定對象具備形狀已知的多個(gè)已知形狀部，所述已知形狀部隔著形狀未知的未知形狀部周期性地配置，所述形狀測定裝置具備：

仿形測頭，其具有能夠接觸所述測定對象的觸頭；

移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述仿形測頭移動(dòng)；

自主仿形測定部，其控制所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)來對所述測定對象實(shí)施自主仿形測定，所述自主仿形測定是一邊使所述仿形測頭以規(guī)定的壓入量推壓所述測定對象一邊使所述仿形測頭沿著所述測定對象移動(dòng)來測定所述測定對象的形狀；

測定路徑計(jì)算部，其計(jì)算所述仿形測頭在對所述測定對象進(jìn)行仿形測定時(shí)的移動(dòng)路徑；以及

設(shè)計(jì)值仿形測定部，其控制所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)來實(shí)施設(shè)計(jì)值仿形測定，所述設(shè)計(jì)值仿形測定是使所述仿形測頭沿著所述移動(dòng)路徑移動(dòng)來測定所述測定對象的形狀，

其中，所述測定路徑計(jì)算部基于由所述自主仿形測定部測定出的所述未知形狀部的測定結(jié)果和所述已知形狀部的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，來計(jì)算針對所述測定對象的所述移動(dòng)路徑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形狀測定裝置，其特征在于，

所述自主仿形測定部對一個(gè)所述未知形狀部實(shí)施所述自主仿形測定，

所述測定路徑計(jì)算部基于針對一個(gè)所述未知形狀部的所述測定結(jié)果和所述已知形狀部的所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，來計(jì)算所述移動(dòng)路徑。

3.一種形狀測定裝置，對測定對象的形狀進(jìn)行測定，所述測定對象具備形狀已知的多個(gè)已知形狀部，所述已知形狀部隔著形狀未知的未知形狀部周期性地配置，所述形狀測定裝置具備：

仿形測頭，其具有能夠接觸所述測定對象的觸頭；

移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述仿形測頭移動(dòng)；

自主仿形測定部，其控制所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)來對所述測定對象實(shí)施自主仿形測定，所述自主仿形測定是一邊使所述仿形測頭以規(guī)定的壓入量推壓所述測定對象一邊使所述仿形測頭沿著所述測定對象移動(dòng)來測定所述測定對象的形狀；

測定路徑計(jì)算部，其計(jì)算所述仿形測頭在對所述測定對象進(jìn)行仿形測定時(shí)的移動(dòng)路徑；以及

設(shè)計(jì)值仿形測定部，其控制所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)來實(shí)施設(shè)計(jì)值仿形測定，所述設(shè)計(jì)值仿形測定是使所述仿形測頭沿著所述移動(dòng)路徑移動(dòng)來測定所述測定對象的形狀，

其中，所述測定路徑計(jì)算部基于由所述自主仿形測定部測定出的針對所述已知形狀部及所述未知形狀部的組合的測定結(jié)果，來計(jì)算針對所述測定對象的所述移動(dòng)路徑。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的形狀測定裝置，其特征在于，

所述自主仿形測定部對一組所述未知形狀部及所述已知形狀部的組合實(shí)施所述自主仿形測定，

所述測定路徑計(jì)算部基于針對一組所述未知形狀部及所述已知形狀部的組合的所述測定結(jié)果，來計(jì)算所述移動(dòng)路徑。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的形狀測定裝置，其特征在于，

在沿著所述移動(dòng)路徑進(jìn)行的測定中，在所述仿形測頭的壓入量處于規(guī)定的容許范圍外的情況下，所述設(shè)計(jì)值仿形測定部輸出測定錯(cuò)誤信號，

在輸出了所述測定錯(cuò)誤信號時(shí)，所述自主仿形測定部再次實(shí)施所述自主仿形測定。

6.一種形狀測定方法，使用形狀測定裝置對測定對象的形狀進(jìn)行測定，所述形狀測定裝置具備具有能夠接觸所述測定對象的觸頭的仿形測頭和使所述仿形測頭移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述測定對象具備形狀已知的多個(gè)已知形狀部，所述已知形狀部隔著形狀未知的未知形狀部周期性地配置，所述形狀測定方法的特征在于，實(shí)施以下步驟：

自主仿形測定步驟，控制所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)來對所述測定對象實(shí)施自主仿形測定，所述自主仿形測定是一邊使所述仿形測頭以規(guī)定的壓入量推壓所述測定對象一邊使所述仿形測頭沿著所述測定對象移動(dòng)來測定所述測定對象的形狀；

路徑運(yùn)算步驟，運(yùn)算所述仿形測頭在對所述測定對象進(jìn)行仿形測定時(shí)的移動(dòng)路徑；以及

設(shè)計(jì)值仿形測定步驟，控制所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)來實(shí)施設(shè)計(jì)值仿形測定，所述設(shè)計(jì)值仿形測定是使所述仿形測頭沿著所述移動(dòng)路徑移動(dòng)來測定所述測定對象的形狀，

其中，在所述路徑運(yùn)算步驟中，基于通過所述自主仿形測定步驟測定出的所述未知形狀部的測定結(jié)果和所述已知形狀部的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，來計(jì)算針對所述測定對象的所述移動(dòng)路徑。

7.一種形狀測定方法，使用形狀測定裝置對測定對象的形狀進(jìn)行測定，所述形狀測定裝置具備具有能夠接觸所述測定對象的觸頭的仿形測頭和使所述仿形測頭移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述測定對象具備形狀已知的多個(gè)已知形狀部，所述已知形狀部隔著形狀未知的未知形狀部周期性地配置，所述形狀測定方法實(shí)施以下步驟：

自主仿形測定步驟，控制所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)來對所述測定對象實(shí)施自主仿形測定，所述自主仿形測定是一邊使所述仿形測頭以規(guī)定的壓入量推壓所述測定對象一邊使所述仿形測頭沿著所述測定對象移動(dòng)來測定所述測定對象的形狀；

路徑運(yùn)算步驟，運(yùn)算所述仿形測頭在對所述測定對象進(jìn)行仿形測定時(shí)的移動(dòng)路徑；以及

設(shè)計(jì)值仿形測定步驟，控制所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)來實(shí)施設(shè)計(jì)值仿形測定，所述設(shè)計(jì)值仿形測定是使所述仿形測頭沿著所述移動(dòng)路徑移動(dòng)來測定所述測定對象的形狀，

其中，在所述路徑運(yùn)算步驟中，基于通過所述自主仿形測定步驟測定出的針對所述已知形狀部及所述未知形狀部的組合的測定結(jié)果，來計(jì)算針對所述測定對象的所述移動(dòng)路徑。