[發明專利]一種真空除塵過濾器

在審

• 申請號: 202010744497.3
• 申請日: 2020-07-29
• 公開（公告）號: CN111714979A
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 張新波;付建宇;郝志廣;張鵬飛;張鵬偉;鄭海峰
• 申請（專利權）人: 山東益立申節能技術有限公司
• 主分類號: B01D46/02
• 分類號: B01D46/02;B01D46/04;B01D46/42
• 代理公司: 天津企興智財知識產權代理有限公司 12226
• 代理人: 王艷華

本發明提供一種真空除塵過濾器，包括上罐、過濾裝置、排灰罐和支撐裝置，過濾裝置安裝于上罐內，排灰罐通過連接管連通于上罐下方，上罐包括罐體和上蓋，上蓋可拆卸連接于罐體上端，上蓋頂端連通出氣管，罐體下部連通有進氣管，罐體內的下部固定有落灰筒，落灰筒包括相互連接的上部的錐形筒和下部的柱形筒，柱形筒伸入到連接管內，錐形筒和罐體之間以及柱形筒和連接管之間形成的間隙形成過風通道，排灰罐的一側安裝有震動擊打裝置。相對于現有技術，本發明所述的一種真空除塵過濾器，具有以下有益效果：對氣體充分過濾，高效安全除塵，保證裝置的氣密性，有效清除殘留在罐體連接部位的灰塵防止各環節阻塞。

技術領域

本發明屬于過濾器技術領域，尤其是涉及一種真空除塵過濾器。

背景技術

在單晶硅的生產過程中需要純度較高的氮氣作為保護氣體，生產過程中，單晶硅與過濾器與真空泵依次相連，生產過程中均在氮氣負壓狀態下工作，生產中會匯入較多的粉塵類雜質，影響真空泵的使用壽命以及氮氣的提純，故而需要一種高效的過濾裝置來對粉塵進行有效過濾，并且在生產完畢后清灰過程中會產生含磷雜質的燃燒因此存在安全隱患，因此我們選用耐高溫的PDFE材質濾袋進行過濾。

發明內容

有鑒于此，本發明旨在提出一種真空除塵過濾器，能夠解決上述問題。

為達到上述目的，本發明的技術方案是這樣實現的：

一種真空除塵過濾器，包括上罐、過濾裝置、排灰罐和支撐裝置，過濾裝置安裝于上罐內，排灰罐通過連接管連通于上罐下方，支撐裝置設于排灰罐下方支撐整個過濾器，上罐包括罐體和上蓋，上蓋可拆卸連接于罐體上端，上蓋頂端連通出氣管，罐體下部連通有進氣管，罐體內的下部固定有落灰筒，落灰筒包括相互連接的上部的錐形筒和下部的柱形筒，柱形筒伸入到連接管內，錐形筒和罐體之間以及柱形筒和連接管之間形成的間隙形成過風通道，錐形筒為上寬下窄設置，錐形筒的上端固定于底板，底板的邊緣密封固定在上罐內壁，柱形筒伸入到連接管內，排灰罐的一側安裝有震動擊打裝置。

進一步，所述過濾裝置包括擊打器、濾袋、定板、動板、彈簧牽拉裝置、導柱和限位桿，定板通過若干個導柱固定在底板上，動板套在若干個導柱上，動板、定板和底板之間相互平行，濾袋設有若干個，連接于動板和底板之間，底板上在設有濾袋的位置開有落灰口，濾袋下端邊緣與落灰口之間密封連接，擊打器設有若干個，均安裝在定板上端，擊打器的擊打頭豎直向下貫穿定板，擊打頭擊打動板使動板沿著導柱豎直移動，彈簧牽拉裝置設有若干個，均布連接于定板和動板之間，定板下端固定有若干個限位桿，限位桿的下端由于彈簧牽拉裝置的牽拉而抵接于動板，動板的豎直移動帶動濾袋的伸縮。

進一步，所述濾袋上端固定有蓋碗，彈簧牽拉裝置的下端連接蓋碗。

進一步，每個彈簧牽拉裝置包括螺栓、連接頭、彈簧和固定桿，固定桿固定在定板下端，連接頭呈T形結構，包括水平的環狀的壓板和豎直的插管，插管貫穿蓋碗后伸入到濾袋內，壓板位于動板上端限位，螺栓從連接頭內自下而上依次貫穿蓋碗和動板并伸出連接頭，彈簧連接于螺栓上端和固定桿之間。

進一步，所述罐體和進氣管之間連通有應急過濾管道，應急過濾管道上連接有手動閥門，應急過濾管道和罐體的連接處連接有氣體輔助過濾裝置。

進一步，所述錐形筒和罐體之間的過風通道和排灰罐之間連通有輔助管道，輔助管道的出風口位于柱形筒下方。

進一步，所述出氣管的側壁設有觀察窗。

進一步，所述罐體的一側鉸接有可伸縮的爬梯。

進一步，所述應急過濾管道上連接有泄壓閥，氣體輔助過濾裝置的一側連接有壓力表。

進一步，所述支撐裝置包括支撐座和輪子，輪子設于支撐座下端，支撐座固定在排灰罐下端。