[發明專利]一種二元鉬合金濺射靶材及其制備方法

有效

• 申請號: 202010744235.7
• 申請日: 2020-07-29
• 公開（公告）號: CN111850490B
• 公開（公告）日: 2023-01-20
• 發明（設計）人: 方宏;孫虎民;寧來元;單玉郎;張雪鳳
• 申請（專利權）人: 豐聯科光電（洛陽）股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22F5/00;C22C27/04
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 李現艷

1.一種二元鉬合金濺射靶材的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：

步驟一：按質量份數計算，取鉬粉60~90份、鈮粉5~20份、鈦粉5~20份，在保護氣體的氣氛下進行球磨混料，充分混合均勻；

步驟二：將步驟一混合均勻后的物料進行膠套裝粉，然后進行冷等靜壓成型，得到坯體；

步驟三：將步驟二得到的坯體包套，進行熱等靜壓作業，得到燒結坯，自然冷卻后，將得到的燒結坯取出；

步驟四：將步驟三得到的燒結坯在保護氣體的氣氛下加熱，然后進行熱軋、校平，最后進行退火，得到二元鉬合金板坯；

步驟五：將步驟四得到的板坯根據所需進行機加工，得到最終所需產品；

其中，步驟二中所冷等靜壓壓力為100~300MPa，保壓時間為3~10min；

步驟三中的熱等靜壓作業的條件為：壓強為100~200MPa、溫度為1000~1600℃，保持時間為3~10h；

步驟四中熱軋前加熱溫度為1100~1500℃，分3~5道次軋制，每道次軋制變形量不低于20%；

步驟四中退火溫度為1000~1400℃，退火保溫時間為0.5~2h，之后自然冷卻。

2.根據權利要求1所述的一種二元鉬合金濺射靶材的制備方法，其特征在于：鉬粉、鈮粉、鈦粉的純度均不低于99.9%。

3.根據權利要求1所述的一種二元鉬合金濺射靶材的制備方法，其特征在于：步驟一中球磨混料的工藝為：將鉬粉60~90份、鈮粉5~20份、鈦粉5~20份置于V型混料機中，按照球料比為1:1~1.5，混料時間為12~48h進行混料。