[發明專利]用于檢測閃耀光柵的方法、系統、計算設備和存儲介質

在審

• 申請號: 202010740020.8
• 申請日: 2020-07-28
• 公開（公告）號: CN112649179A
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發明（設計）人: 陳昂;李同宇;石磊;殷海瑋
• 申請（專利權）人: 上海復享光學股份有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 黃倩

1.一種用于檢測閃耀光柵的方法，包括：

使得入射光以預定入射角射入待測閃耀光柵；

旋轉光譜儀的探測裝置，以便接收在不同接收角的所述待測閃耀光柵的衍射光，以用于生成光譜數據；

基于所述光譜數據，提取關于所述待測閃耀光柵的一階衍射強度分布數據，所述一階衍射強度分布數據至少指示一階衍射效率和關聯角度；以及

基于所述一階衍射強度分布數據，確定所述待測閃耀光柵的周期、傾角和深度中的至少一個，以用于確定所述待測閃耀光柵的合格情況。

2.根據權利要求1所述的方法，其中確定所述待測閃耀光柵的合格情況包括：

響應于確定所述周期、所述傾角和所述深度中的至少一個不屬于預定閾值范圍，確定所述待測閃耀光柵不符合預定標準；以及

響應于確定所述周期、所述傾角和所述深度中均屬于預定閾值范圍，確定所述待測閃耀光柵符合預定標準。

3.根據權利要求1所述的方法，其中確定所述待測閃耀光柵的周期、傾角和深度中的至少一個包括：

基于所述一階衍射強度分布數據，經由擬合算法，確定所述待測閃耀光柵的周期，所述一階衍射強度分布數據為一階衍射強度分布曲線，所述關聯角度為關聯的所述接收角；以及

基于所述一階衍射強度分布數據，經由神經網絡模型，確定所述待測閃耀光柵的傾角和深度，所述神經網絡模型經由與待測閃耀光柵的形貌模型的一階衍射效率、關聯的衍射角度有關的模擬數據集所訓練。

4.根據權利要求1所述的方法，其中確定所述待測閃耀光柵的周期、傾角和深度中的至少一個包括：

基于所述一階衍射強度分布數據，經由擬合算法，確定所述待測閃耀光柵的周期，所述一階衍射強度分布數據為一階衍射強度分布曲線，所述關聯角度為關聯的所述接收角；

基于待測閃耀光柵的類型和所確定的周期，確定匹配的模擬數據集；

基于所述一階衍射強度分布數據，經由最小卡方計算，在匹配的模擬數據集中確定匹配的一階衍射強度分布數據曲線樣本的傾角和深度數據；以及

基于匹配的一階衍射強度分布數據曲線樣本的傾角和深度數據，確定待測閃耀光柵的傾角和深度數據。

5.根據權利要求3和4中任一所述的方法，其中所述模擬數據集經由以下方式而生成：

使得所述入射光沿光柵的周期方向分別入射至多個閃耀光柵的形貌模型的表面，所述形貌模型被配置有不同周期、不同傾角；

針對每一個形貌模型，改變所述S偏振光的入射波長，以用于計算與所述入射波長相關聯的一階衍射效率和關聯的衍射角度；

基于所述一階衍射效率和所述關聯的衍射角度，構建所述模擬數據集。

6.根據權利要求5所述的方法，其中構建所述模擬數據集包括：

基于模擬算法，計算與所述入射波長相關聯的一階衍射效率和關聯的衍射角度，以用于生成多個一階衍射強度分布數據曲線樣本。

7.根據權利要求1所述的方法，其中使得入射光以預定入射角射入待測閃耀光柵包括：

使得所述光譜儀的光源與所述探測裝置同步旋轉，以便所述入射光的所述預定入射角與所述接收角一致變化。

8.根據權利要求1所述的方法，其中使得入射光以預定入射角射入待測閃耀光柵包括：

使得所述入射光以垂直所述待測閃耀光柵的表面的角度射入所述待測閃耀光柵。

9.根據權利要求1所述的方法，其中基于所述光譜數據提取關于所述待測閃耀光柵的一階衍射強度分布數據包括：

獲取所述光譜數據中的色散曲線的峰值，所述光譜數據為兩維光譜色散圖像；以及

將所述色散曲線的峰值向所述接收角方向投影，以便將所述兩維光譜色散圖像轉化為第一坐標為接收角、第二坐標為衍射效率的一階衍射強度分布曲線。