[發(fā)明專利]慣性傳感器、電子設(shè)備和移動體有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010739324.2 | 申請日： | 2020-07-27 |
| 公開（公告）號： | CN112305262B | 公開（公告）日： | 2022-08-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 田中悟 | 申請（專利權(quán)）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240 | 代理人： | 沈丹陽 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 慣性 傳感器 電子設(shè)備 移動 | ||
慣性傳感器、電子設(shè)備和移動體。慣性傳感器具有：基板；可動體，繞沿著Y軸的擺動軸擺動；檢測電極，設(shè)置于所述基板，在從與所述Y軸正交的Z軸方向俯視時與所述可動體重疊，在所述檢測電極與所述可動體之間形成靜電電容；露出部，設(shè)置在所述檢測電極的內(nèi)側(cè)，供所述基板的所述可動體一側(cè)的面露出；突起，在從所述Z軸方向俯視時與所述可動體重疊，并從所述基板的所述露出部向所述可動體一側(cè)突出設(shè)置；以及覆蓋電極，設(shè)置在所述突起的頂部，所述覆蓋電極與所述可動體為等電位。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及慣性傳感器、電子設(shè)備和移動體。
背景技術(shù)
在專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2中記載的慣性傳感器分別是能夠檢測Z軸方向的加速度的傳感器，其具有：基板；可動體，相對于基板繞沿著Y軸方向的擺動軸進(jìn)行蹺蹺板擺動；以及檢測電極，設(shè)置于基板。此外，可動體具有隔著擺動軸設(shè)置并繞擺動軸的轉(zhuǎn)矩相互不同的第一可動部和第二可動部。此外，檢測電極具有：第一檢測電極，與第一可動部相對地配置于基板；以及第二檢測電極，與第二可動部相對地配置于基板。
在這種結(jié)構(gòu)的慣性傳感器中，若施加Z軸方向的加速度則可動體繞擺動軸進(jìn)行蹺蹺板擺動，伴隨于此，第一可動部與第一檢測電極之間的靜電電容和第二可動部與第二檢測電極之間的靜電電容相互反相地變化。因此，能夠基于該靜電電容的變化來檢測Z軸方向的加速度。
此外，在專利文獻(xiàn)1中記載的慣性傳感器具有突起狀的止動件，該止動件設(shè)置于基板，用于在可動體過度地進(jìn)行蹺蹺板擺動時通過與可動體接觸來限制可動體進(jìn)一步的位移。另一方面，在專利文獻(xiàn)2中記載的慣性傳感器具有突起狀的止動件，該止動件設(shè)置于可動體，用于在可動體過度地進(jìn)行蹺蹺板擺動時通過與基板接觸來限制可動體進(jìn)一步的位移。
專利文獻(xiàn)1：日本特開2014-224739號公報
專利文獻(xiàn)2：日本特表2008-529001號公報
但是，在專利文獻(xiàn)1的慣性傳感器中，止動件被第一、第二檢測電極覆蓋，該第一、第二檢測電極具有與可動體不同的電位。因此，在可動體和止動件之間產(chǎn)生靜電引力，由于該靜電引力而容易發(fā)生使可動體貼附至基板的現(xiàn)象即所謂“粘附”。另一方面，在專利文獻(xiàn)2的慣性傳感器中，將與可動體等電位的虛設(shè)電極配置在基板的與止動件接觸的部位，抑制了在專利文獻(xiàn)1中成為問題的粘附的發(fā)生。但是，在專利文獻(xiàn)2的慣性傳感器中，必然使檢測電極的面積減小與設(shè)置虛設(shè)電極相應(yīng)的量，相應(yīng)地加速度檢測靈敏度下降。即，在專利文獻(xiàn)1、2的慣性傳感器中，存在無法得到抑制粘附且具有高靈敏度的慣性傳感器的課題。
發(fā)明內(nèi)容
實施方式所記載的慣性傳感器其特征在于，具有：基板；可動體，繞沿著Y軸的擺動軸擺動；檢測電極，設(shè)置于所述基板，在從與所述Y軸正交的Z軸方向俯視時與所述可動體重疊，在所述檢測電極與所述可動體之間形成靜電電容；露出部，在從所述Z軸方向俯視時設(shè)置在所述檢測電極的內(nèi)側(cè)，供所述基板的所述可動體一側(cè)的面露出；突起，在從所述Z軸方向俯視時與所述可動體重疊，并從所述基板的所述露出部向所述可動體一側(cè)突出設(shè)置；以及覆蓋電極，設(shè)置在所述突起的頂部，所述覆蓋電極與所述可動體為等電位。
附圖說明
圖1是示出第一實施方式所涉及的慣性傳感器的俯視圖。
圖2是圖1中的A-A線剖視圖。
圖3是慣性傳感器所具有的基板的俯視圖。
圖4是圖3中的B-B線剖視圖。
圖5是圖3中的C-C線剖視圖。
圖6是示出變形例的俯視圖。
圖7是示出變形例的俯視圖。
圖8是第二實施方式所涉及的慣性傳感器所具有的基板的俯視圖。
圖9是第三實施方式所涉及的慣性傳感器所具有的基板的俯視圖。
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