[發(fā)明專利]一種一體化盒體封裝結(jié)構(gòu)及其制作方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010736665.4 | 申請日: | 2020-07-28 |
| 公開(公告)號: | CN111987047A | 公開(公告)日: | 2020-11-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 景飛;曾斌;周俊;高陽;魯新建;廖翱;張童童;羅洋 | 申請(專利權(quán))人: | 中國電子科技集團(tuán)公司第二十九研究所 |
| 主分類號: | H01L23/04 | 分類號: | H01L23/04;H01L23/10;H01L23/48;H01L21/50;H01R13/40;H01R13/405;H01R13/46;H01R43/18;H01R43/20 |
| 代理公司: | 成都九鼎天元知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51214 | 代理人: | 賈年龍 |
| 地址: | 610036 四川*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 一體化 封裝 結(jié)構(gòu) 及其 制作方法 | ||
1.一種一體化盒體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,包括盒體(1)和多芯連接器,所述多芯連接器包括連接器外殼(2)和金屬插針(3),所述盒體(1)的側(cè)壁上設(shè)有連接器外殼(2),所述連接器外殼(2)內(nèi)設(shè)有安裝孔(4),所述金屬插針(3)燒結(jié)到安裝孔(4)中,所述金屬插針(3)與安裝孔(4)之間設(shè)有絕緣玻璃珠(5),所述金屬插針(3)與盒體(1)內(nèi)部的芯片連接,所述盒體(1)上表面設(shè)有蓋板(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體化盒體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述盒體(1)、連接器外殼(2)、金屬插針(3)和蓋板(6)的材質(zhì)均為柯伐合金。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體化盒體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述絕緣玻璃珠(5)的材質(zhì)為鐵封玻璃。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體化盒體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述金屬插針(3)為實(shí)心插針或帶盲孔的插針。
5.一種一體化盒體封裝結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,包括以下步驟:
S1、在盒體進(jìn)行機(jī)械加工時在盒體的側(cè)壁上制作出連接器外殼和安裝孔;
S2、將金屬插針和絕緣玻璃珠裝配到安裝孔內(nèi)并通過石墨夾具定位;
S3、將盒體放置在900℃以上的燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié);
S4、對燒結(jié)成整體的一體化盒體進(jìn)行鍍涂表面處理后進(jìn)行盒體內(nèi)部功能芯片的貼裝;
S5、采用金屬蓋板對盒體進(jìn)行激光封焊或平行封焊,形成一體化盒體封裝結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一體化盒體封裝結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述金屬插針與安裝孔的燒結(jié)方法為玻璃燒結(jié)法。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一體化盒體封裝結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,所述連接器外殼可以設(shè)置在盒體的側(cè)壁內(nèi)。
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