[發(fā)明專利]隔熱導(dǎo)電偏壓襯底托

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010735304.8
• 申請(qǐng)日: 2020-07-27
• 公開（公告）號(hào): CN111647878B
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳亞男;霍曉迪;周廣迪;金鵬;王占國(guó)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
• 主分類號(hào): C23C16/458
• 分類號(hào): C23C16/458;C23C16/27
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 劉歌

1.一種隔熱導(dǎo)電偏壓襯底托，其中，包括

托體，襯底放置于所述托體上表面；

石墨件，所述石墨件上端與所述托體下表面相連；

偏壓電極，與所述石墨件下端相連；

絕緣部，所述絕緣部與腔體壁板相連；所述絕緣部與所述石墨件下端相連，且所述絕緣部套設(shè)在所述偏壓電極上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔熱導(dǎo)電偏壓襯底托，其中，所述石墨件為石墨板或石墨桿。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔熱導(dǎo)電偏壓襯底托，其中，所述絕緣部包括：

第一絕緣件，為帽狀中空結(jié)構(gòu)，所述第一絕緣件的下端伸入所述腔體壁板內(nèi)，所述第一絕緣件的上端與所述腔體壁板的端部相連；

第二絕緣件，為環(huán)形片狀結(jié)構(gòu)，所述第二絕緣件套設(shè)在所述偏壓電極上；

其中，所述第二絕緣件套設(shè)在所述偏壓電極上包括：所述偏壓電極貫穿于第一絕緣部的帽狀中空結(jié)構(gòu)中，所述第二絕緣件套設(shè)在所述第一絕緣件外。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔熱導(dǎo)電偏壓襯底托，其中，所述托體的表面設(shè)置有粗糙區(qū)；所述托體材料為鉬。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔熱導(dǎo)電偏壓襯底托，其中，所述偏壓電極與所述石墨件螺紋連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的隔熱導(dǎo)電偏壓襯底托，其中，所述偏壓電極貫穿于所述帽狀中空結(jié)構(gòu)中。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的隔熱導(dǎo)電偏壓襯底托，其中，所述第一絕緣件的所述帽狀中空結(jié)構(gòu)的上端和所述第二絕緣件的所述環(huán)形片狀結(jié)構(gòu)的厚度相同。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔熱導(dǎo)電偏壓襯底托，其中，絕緣部的材料為氧化鋁和/或石英。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的隔熱導(dǎo)電偏壓襯底托，其中，所述第一絕緣件的下端外徑小于所述第一絕緣件的上端外徑。