[發(fā)明專利]氣體攪拌裝置、鑄錠爐及其使用方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010729530.5 | 申請日: | 2020-07-27 |
| 公開(公告)號: | CN111850673A | 公開(公告)日: | 2020-10-30 |
| 發(fā)明(設計)人: | 陳湘?zhèn)?/a>;胡動力;張華利;游達;張祥 | 申請(專利權(quán))人: | 江蘇協(xié)鑫硅材料科技發(fā)展有限公司 |
| 主分類號: | C30B11/00 | 分類號: | C30B11/00;C30B29/06;B01F13/02 |
| 代理公司: | 南京縱橫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224 | 代理人: | 俞翠華 |
| 地址: | 221000 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 氣體 攪拌 裝置 鑄錠 及其 使用方法 | ||
1.一種氣體攪拌裝置,其特征在于,包括:
升降單元;
進氣管,與所述升降單元相連,由所述升降單元驅(qū)動進行升降運動;所述進氣管上還設有進氣口;
密封單元,與所述進氣管相連,且用于連接鑄錠爐,以實現(xiàn)鑄錠爐內(nèi)氣體與外界隔離;
噴頭,與所述進氣管的出口相連,所述噴頭的出氣噴嘴的延伸方向與進氣管的延伸方向之間存在夾角,噴頭噴射出的氣流將推動鑄錠爐內(nèi)的硅液流動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體攪拌裝置,其特征在于:所述出氣噴嘴的內(nèi)腔的直徑沿著出氣噴嘴的延伸方向逐漸變小,用于增加氣流的流速。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體攪拌裝置,其特征在于:所述密封單元為密封圈或真空波紋管。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體攪拌裝置,其特征在于:所述進氣管由不銹鋼、氧化鋁、碳化硅或石英玻璃制成。
5.一種鑄錠爐,包括鑄錠爐本體,所述鑄錠爐本體包括爐體、蓋體、隔熱籠、石墨導管、加熱器和坩堝;所述蓋體覆蓋在所述爐體的開口處,所述蓋體上設有缺口;所述隔熱籠設于爐體內(nèi);所述石墨導管的一端所述蓋體處的缺口相連通,另一端與所述隔熱籠相連通;所述加熱器和坩堝設于隔熱籠內(nèi);所述坩堝上設有缺口;其特征在于:還包括氣體攪拌裝置,包括:
升降單元,與所述爐體相連;
進氣管,其一端穿過所述石墨導管后經(jīng)坩堝上的缺口進入坩堝內(nèi),另一端與所述升降單元相連,由所述升降單元驅(qū)動在爐體內(nèi)做升降運動;所述進氣管上還設有進氣口;
密封單元,分別與所述進氣管和爐體相連,以實現(xiàn)爐體內(nèi)氣體與外界隔離;
噴頭,與所述進氣管的出口相連,所述噴頭的出氣噴嘴的延伸方向與進氣管的延伸方向之間存在夾角,噴頭噴射出的氣流將推動鑄錠爐內(nèi)的硅液流動。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種鑄錠爐,其特征在于:所述密封單元為密封圈或真空波紋管。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種鑄錠爐,其特征在于:所述進氣管由不銹鋼、氧化鋁、碳化硅或石英玻璃制成。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種鑄錠爐,其特征在于:所述出氣噴嘴的內(nèi)腔的直徑沿著出氣噴嘴的延伸方向逐漸變小,用于增加氣流的流速。
9.一種權(quán)利要求5-8中任一項所述的鑄錠爐的使用方法,其特征在于,包括:
利用升降單元驅(qū)動進氣管上移,直到噴頭完全進入到石墨導管中;
從進氣管通入氬氣,鑄錠爐進入氣體模式工作,并啟動加熱器運行;
當爐內(nèi)溫度達到預設溫度,且坩堝內(nèi)的硅液面下降到最低液位時,利用升降單元驅(qū)動進氣管下移,使噴頭進入坩堝內(nèi),并與硅液面保持預設的距離,調(diào)整氬氣流量到合適大小,氬氣經(jīng)過進氣管后和噴頭進入坩堝內(nèi)部,噴頭噴射出的氬氣氣流將推動硅液形成流動,同時由于氬氣氣流為常溫氣體,在硅液上下形成一定溫差,利用溫差使得硅液形成流動。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的鑄錠爐的使用方法,其特征在于:所述方法還包括:當鑄錠爐的長晶過程結(jié)束后,將利用升降單元驅(qū)動進氣管上移,將噴頭移入石墨導管內(nèi)。
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