[發明專利]一種石墨舟片以及石墨舟在審
| 申請號: | 202010726930.0 | 申請日: | 2020-07-26 |
| 公開(公告)號: | CN113990782A | 公開(公告)日: | 2022-01-28 |
| 發明(設計)人: | 殷文杰;何乃林;趙亮;陳剛 | 申請(專利權)人: | 浙江愛旭太陽能科技有限公司;昇先創太陽能科技(義烏)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 金華智芽專利代理事務所(普通合伙) 33307 | 代理人: | 陳迪 |
| 地址: | 322000 浙江省*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石墨 以及 | ||
1.一種石墨舟片,包括長條形的承載框架(1),承載框架(1)的兩端均設有用于連接電極的石墨舟耳(11),承載框架(1)上設有若干個間隔分布的承載單元(2),每個承載單元(2)包括有鏤空區域(3)和可用于承托方形硅片的第一卡點(41)、第二卡點(42)、第三卡點(43),所述的鏤空區域(3)位于第一卡點(41)、第二卡點(42)和第三卡點(43)所約束的區域內,其特征在于:所述的鏤空區域(3)內填充有具備導電能力的傳導片(5),傳導片(5)的厚度小于承載框架(1)的厚度。
2.根據權利要求1所述的石墨舟片,其特征在于:所述的承載框架(1)上設有若干個減重孔(12)。
3.根據權利要求1或2所述的石墨舟片,其特征在于:所述的傳導片(5)上開設有通氣孔(51)。
4.根據權利要求3所述的石墨舟片,其特征在于:所述傳導片(5)的一側與承載框架(1)共面,另一側面為凹陷設置。
5.根據權利要求3所述的石墨舟片,其特征在于:所述傳導片(5)的兩側面相比承載框架(1)的兩側面均為凹陷設置。
6.根據權利要求4或5所述的石墨舟片,其特征在于:所述的傳導片(5)為可拆卸式的金屬片,其邊緣設有可與鏤空區域(3)嵌合的翻邊(52),鏤空區域(3)邊緣的承載框架(1)上設有可與翻邊(52)嵌合的嵌合槽(13),嵌合槽(13)的深度與翻邊(52)厚度一致。
7.根據權利要求1所述的石墨舟片,其特征在于:所述承載框架的厚度為2至4毫米,傳導片的厚度為0.3至1毫米。
8.根據權利要求3所述的石墨舟片,其特征在于:所述的通氣孔(51)為長條形,數量為四條且相互等間距分布。
9.根據權利要求2所述的石墨舟片,其特征在于:傳導片(5)上設置有多條呈井字形分布的加強筋(53)。
10.一種石墨舟,包括若干片石墨舟片、石墨導桿、石墨塊和陶瓷軸套,其特征在于:該石墨舟片為權利要求1至9任意一項所述的石墨舟片。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





