[發(fā)明專利]一種可調(diào)軌道寬度的基片傳輸裝置及基片傳輸方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010723280.4
• 申請日: 2020-07-24
• 公開（公告）號(hào): CN111874624B
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王小煒;鐘莉君;趙寧波;閔寬亮;曹葵康;蔡雄飛
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B65G47/91
• 分類號(hào): B65G47/91
• 代理公司: 上海華誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300
• 代理人: 徐穎聰

本發(fā)明公開了一種可調(diào)軌道寬度的基片傳輸裝置及基片傳輸方法，包括機(jī)箱，傳送模組的基座沿著前后方向嵌入在機(jī)箱的腔體內(nèi)，傳送模組的基座上設(shè)置有兩條平行的軌道和軌道調(diào)節(jié)組件，軌道通過軌道調(diào)節(jié)組件設(shè)置在基座上，軌道用于傳輸基片，軌道調(diào)節(jié)組件用于調(diào)節(jié)兩條軌道之間的寬度；牽引夾爪模組安裝在傳送模組上，牽引夾爪模組的移動(dòng)端沿著傳送模組的軌道往復(fù)運(yùn)動(dòng)，牽引夾爪模組的上夾爪和下夾爪在電機(jī)驅(qū)動(dòng)下相對運(yùn)動(dòng)，用于夾取或釋放基片；調(diào)節(jié)模組設(shè)置在流道傳送模組的基片流入端，用于調(diào)整基片進(jìn)入軌道的初始位置。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基片傳輸裝置及裝置應(yīng)用方法，能適應(yīng)多種不同尺寸規(guī)格基片的運(yùn)輸，提高了工作效率，降低成本并提高自動(dòng)化率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，尤其涉及一種可調(diào)軌道寬度的基片傳輸裝置及基片傳輸方法。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體行業(yè)及3C行業(yè)，在加工微電子產(chǎn)品的過程中，通常需要將基片從一個(gè)位置轉(zhuǎn)移至另一個(gè)位置，需要傳輸不同規(guī)格尺寸的基片，在傳輸機(jī)構(gòu)上設(shè)置加工工位進(jìn)行加工基片，因此，亟需一種可以進(jìn)行調(diào)節(jié)軌道寬度的基片傳輸機(jī)構(gòu)，適應(yīng)多種不同基片的運(yùn)輸，且具有多個(gè)工位。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供一種可調(diào)軌道寬度的基片傳輸裝置及基片傳輸方法，能夠適應(yīng)多種不同規(guī)格尺寸基片的運(yùn)輸，且可設(shè)置多個(gè)工位同時(shí)加工基片，節(jié)約作業(yè)時(shí)間，提高效率。

本發(fā)明采用以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種可調(diào)軌道寬度的基片傳輸裝置，包括：

機(jī)箱，所述機(jī)箱設(shè)有前后貫穿的腔體；

傳送模組，所述傳送模組的基座沿著前后方向嵌入在所述機(jī)箱的腔體內(nèi)，所述傳送模組的基座上設(shè)置有兩條平行的軌道和軌道調(diào)節(jié)組件，其中，所述軌道通過所述軌道調(diào)節(jié)組件設(shè)置在所述基座上，所述軌道用于傳輸基片，所述軌道調(diào)節(jié)組件用于調(diào)節(jié)所述兩條軌道之間的寬度；

牽引夾爪模組，所述牽引夾爪模組安裝在所述傳送模組上，所述牽引夾爪模組的移動(dòng)端沿著所述傳送模組的軌道往復(fù)運(yùn)動(dòng)，所述牽引夾爪模組的上夾爪和下夾爪在電機(jī)驅(qū)動(dòng)下相對運(yùn)動(dòng)，用于夾取或釋放基片；

調(diào)節(jié)模組，所述調(diào)節(jié)模組設(shè)置在所述流道傳送模組的基片流入端，用于調(diào)整所述基片進(jìn)入所述軌道的初始位置。

優(yōu)選地，所述軌道調(diào)節(jié)組件分別設(shè)置在所述流道傳送模組的前部、中部和后部。

優(yōu)選地，所述軌道調(diào)節(jié)組件包括基片軌道基座平板、基片軌道從動(dòng)滑座、軌道寬度調(diào)整滑軌，滾珠絲桿，兩條平行的所述軌道的一條設(shè)置在所述基片軌道基座平板上固定不動(dòng)，另一條設(shè)置在所述基片軌道從動(dòng)滑座上，所述滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)所述基片軌道從動(dòng)滑座沿著所述軌道寬度調(diào)整滑軌左右滑動(dòng)，用于靠近或遠(yuǎn)離所述基片軌道基座平板；

優(yōu)選地，所述軌道調(diào)節(jié)組件還包括水平同步帶驅(qū)動(dòng)件，所述水平同步帶驅(qū)動(dòng)件與所述流道傳送模組的前部、中部和后部的所述滾珠絲杠連接，所述流道傳送模組中部的所述滾珠絲杠通過所述水平同步帶驅(qū)動(dòng)件傳動(dòng)給前部和后部的滾珠絲杠。

優(yōu)選地，所述牽引夾爪模組包括牽引夾爪基座、夾爪組件和移動(dòng)組件，所述牽引夾爪基座安裝在所述傳送模組上；所述夾爪組件和移動(dòng)組件安裝在所述傳送模組上；其中，

所述牽引夾爪基座上設(shè)有夾爪導(dǎo)軌；

所述夾爪組件包括上夾爪、下夾爪、滑塊、步進(jìn)電機(jī)、夾爪感應(yīng)片、傳感器、拉伸彈簧、拉伸彈簧柱、夾爪凸輪；其中，所述上夾爪和下夾爪通過滑塊與夾爪導(dǎo)軌滑動(dòng)連接；兩個(gè)所述拉伸彈簧一端通過所述拉伸彈簧柱分別固定在所述上夾爪和所述下夾爪上，另一端分別與所述夾爪凸輪的左右兩端連接，其中，所述夾爪凸輪的左右兩端的設(shè)有高度差；所述步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述夾爪凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)的左右兩端同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)所述拉伸彈簧上升或下降；所述上夾爪下方安裝有所述夾爪感應(yīng)片，所述夾爪感應(yīng)片下方安裝有所述傳感器，當(dāng)所述傳感器感應(yīng)到所述夾爪感應(yīng)片，所述步進(jìn)電機(jī)停止轉(zhuǎn)動(dòng)；