[發明專利]一種近紅外-可見光譜寬頻吸收超材料及其制備方法有效
| 申請號： | 202010722614.6 | 申請日： | 2020-07-24 |
| 公開（公告）號： | CN111841570B | 公開（公告）日： | 2022-04-19 |
| 發明（設計）人： | 熊宇杰;王曉農;邵天一;高超 | 申請（專利權）人： | 中國科學技術大學 |
| 主分類號： | B01J23/89 | 分類號： | B01J23/89;B01J23/52;C01B32/40;C07C1/12;C07C9/04;B82Y30/00;B82Y40/00;G01J5/00;G01N31/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 張雪嬌 |
| 地址： | 230026 安*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 紅外 可見 光譜 寬頻 吸收 材料 及其 制備 方法 | ||
1.一種近紅外-可見光譜寬頻吸收超材料，其特征在于，包括：
基底；
設置于所述基底上的光吸收層；
設置于所述光吸收層上的二氧化硅薄膜；
設置于 所述二氧化硅薄膜上的漁網狀金膜；
還包括設置于所述漁網狀金膜上的銀銅合金層；
所述銀銅合金層的厚度為1～10nm；
所述銀銅合金層中銀與銅的摩爾比為(0.9～0.95)：(0.1～0.05)；
所述光吸收層的厚度為80～100nm；所述光吸收層選自金薄膜或銀薄膜；
所述二氧化硅薄膜的厚度為20～30nm；所述漁網狀金膜的厚度為60～80nm。
2.一種近紅外-可見光譜寬頻吸收超材料的制備方法，其特征在于，包括：
S1)在基底上沉積光吸收層，得到復合光吸收層的基底；
S2)在復合光吸收層的基底上沉積二氧化硅薄膜，得到復合有二氧化硅薄膜與光吸收層的基底；
S3)在復合有二氧化硅薄膜與光吸收層的基底上通過自組裝得到單層微球模板層，然后采用氧等離子體刻蝕單層微球模板層，得到刻蝕后的模板層；
S4)在刻蝕后的模板層上沉積金膜，然后去除模板層，沉積銀銅合金層，得到近紅外-可見光譜寬頻吸收超材料；
所述銀銅合金層的厚度為1～10nm；
所述銀銅合金層中銀與銅的摩爾比為(0.9～0.95)：(0.1～0.05)；
所述光吸收層的厚度為80～100nm；所述光吸收層選自金薄膜或銀薄膜；
所述二氧化硅薄膜的厚度為20～30nm；所述金膜的厚度為60～80nm。
3.根據權利要求2所述的制備方法，其特征在于，所述單層微球模板層選自單層聚苯乙烯微球模板層、單層聚甲基丙烯酸甲酯微球模板層或單層二氧化硅模板層。
4.根據權利要求2所述的制備方法，其特征在于，所述氧等離子體刻蝕時氧氣的流速為50～150sccm；功率為20～80W；刻蝕時間為5～8min。
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