[發(fā)明專利]一種硅料清洗工藝在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010722606.1 | 申請(qǐng)日： | 2020-07-24 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN111673625A | 公開（公告）日： | 2020-09-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李建波;劉杰;馬自成 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 四川永祥硅材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24C11/00 | 分類號(hào)： | B24C11/00;B24C1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 李赫 |
| 地址： | 614800 四川省*** | 國(guó)省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 清洗 工藝 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種硅料清洗工藝，其特征在于，包括步驟：
送料，將待處理的硅料送入噴砂機(jī)作業(yè)面處；
噴砂，利用噴砂機(jī)噴出的碳化硅粉對(duì)硅料表面進(jìn)行噴砂處理，以將附著于硅料表層的雜質(zhì)去除；
清理，利用純水對(duì)噴砂作業(yè)完畢后的硅料進(jìn)行表層清理，以將殘留于硅料表面的碳化硅粉清理干凈。
2.如權(quán)利要求1所述的硅料清洗工藝，其特征在于，所述步驟清理中，通過(guò)將噴砂作業(yè)完畢后的硅料進(jìn)行純水鼓泡或超聲清洗以將殘留于硅料表面的碳化硅粉清理干凈。
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于四川永祥硅材料有限公司，未經(jīng)四川永祥硅材料有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202010722606.1/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
