[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體激光器疊陣的光學(xué)處理方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010716552.8
• 申請(qǐng)日: 2020-07-23
• 公開（公告）號(hào): CN113972555A
• 公開（公告）日: 2022-01-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 付傳尚;孫素娟;開北超;鄭兆河;徐現(xiàn)剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東華光光電子股份有限公司
• 主分類號(hào): H01S5/02253
• 分類號(hào): H01S5/02253;H01S5/02326;H01S5/02355;H01S5/026
• 代理公司: 濟(jì)南金迪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 37219
• 代理人: 趙龍群

1.一種半導(dǎo)體激光器疊陣的光學(xué)處理方法，其特征在于，該方法用于對(duì)激光器疊陣中每一個(gè)巴條的快軸發(fā)散角進(jìn)行準(zhǔn)直，獲得均勻輸出的平行光，所述激光器疊陣包括平行排列的N個(gè)巴條，該光學(xué)處理方法包括步驟：

(1)在封裝好的N個(gè)巴條的兩側(cè)分別設(shè)置一根墊條，用于固定D型柱透鏡；

(2)擋住N-1個(gè)巴條的發(fā)光面，暴露一個(gè)巴條的發(fā)光面，在暴露的巴條發(fā)光面上方放置D型柱透鏡，使得D型柱透鏡的入射光平面對(duì)準(zhǔn)巴條的出光面，然后繼續(xù)調(diào)整D型柱透鏡的位置，使得D型柱透鏡焦點(diǎn)所在的直線與巴條發(fā)光點(diǎn)所在的直線重合，然后固定D型柱透鏡；

(3)擋住N-2個(gè)未加透鏡的巴條發(fā)光面和步驟(2)中已調(diào)整好D型柱透鏡對(duì)應(yīng)的巴條發(fā)光面，暴露一個(gè)巴條的發(fā)光面，在暴露的巴條的發(fā)光面上方放置D型柱透鏡，使得D型柱透鏡入射光平面對(duì)準(zhǔn)巴條的出光面，然后繼續(xù)調(diào)整D型柱透鏡的位置，使得D型柱透鏡焦點(diǎn)所在的直線與巴條發(fā)光點(diǎn)所在的直線重合，然后固定D型柱透鏡；

(4)按照步驟(3)，以此類推，逐個(gè)調(diào)整巴條上方D型柱透鏡的位置，使得D型柱透鏡的出射光為平行光，固定D型柱透鏡，完成N個(gè)巴條上方D型柱透鏡的固定。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器疊陣的光學(xué)處理方法，其特征在于，相鄰巴條之間的距離S大于3倍的D型柱透鏡的中心線到光出射面的距離。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器疊陣的光學(xué)處理方法，其特征在于，步驟(2)中，采用六維調(diào)節(jié)架夾持D型柱透鏡來(lái)調(diào)節(jié)D型柱透鏡的位置，使得D型柱透鏡焦點(diǎn)所在的直線與巴條發(fā)光點(diǎn)所在的直線重合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器疊陣的光學(xué)處理方法，其特征在于，步驟(2)中，使用紫外膠將D型柱透鏡兩端固定在兩根墊條上；D型柱透鏡固定后需要再次確認(rèn)D型柱透鏡出射的光是否為平行光，若光路發(fā)生變動(dòng)，需拆除D型柱透鏡重新進(jìn)行調(diào)整。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器疊陣的光學(xué)處理方法，其特征在于，所述激光器疊陣包括12個(gè)巴條，每個(gè)巴條的功率為100W，12個(gè)巴條依次串聯(lián)形成1200W激光器疊陣。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器疊陣的光學(xué)處理方法，其特征在于，步驟(1)中，兩根墊條平行設(shè)置在N個(gè)巴條的兩側(cè)，且墊條到每個(gè)巴條的距離相同。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器疊陣的光學(xué)處理方法，其特征在于，所述D型柱透鏡的表面鍍有光學(xué)增透膜。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器疊陣的光學(xué)處理方法，其特征在于，相鄰巴條之間采用Cu10W90作為封裝材料進(jìn)行封裝的。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的一種半導(dǎo)體激光器疊陣的光學(xué)處理方法，其特征在于，巴條采用AuSn硬焊料封裝。