[發明專利]一種用于晶片標記的激光設備

有效

• 申請號: 202010713301.4
• 申請日: 2020-07-22
• 公開（公告）號: CN111872545B
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 凌步軍;朱鵬程;袁明峰;呂金鵬;趙有偉;滕宇;孫月飛;冷志斌;馮高俊
• 申請（專利權）人: 江蘇亞威艾歐斯激光科技有限公司
• 主分類號: B23K26/042
• 分類號: B23K26/042;B23K26/70;B23K26/064
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 林凡燕

1.一種用于晶片標記的激光設備，其特征在于，包括：

激光器，用于發射激光束；

擴束鏡，用于對所述激光束進行擴束和準直；

光束調節單元，用于調節所述激光束的方向；

反射鏡，用于改變所述激光束的方向；

聚焦鏡頭，用于對所述激光束進行聚焦，以使所述激光束垂直射出；以及

載臺，所述載臺包括一通孔，該通孔貫穿載臺的上下表面；

其中，所述激光器，所述擴束鏡，所述光束調節單元和所述反射鏡在第一方向上依次設置，所述反射鏡，所述聚焦鏡頭和所述載臺在第二方向上依次設置，所述第一方向垂直所述第二方向；

當對激光設備進行校正時，校正區位于聚焦鏡頭和采集器之間，當對晶片進行標記工作時，不需要使用所述校正區；

當對晶片進行標記工作時，所述晶片設置在所述載臺的通孔上；當對激光設備進行校正時，所述晶片不在所述載臺上；

其中，所述載臺的一端設置有采集器，所述載臺的另一端設置有驅動單元，所述驅動單元帶動所述載臺進行直線運動，以將所述采集器移動至校正區內；當采集器進入校正區內時，采集部采集激光束，并在采集部上形成激光光斑；

其中，所述校正區內設置有多個校正點，當所述采集器進入所述校正區時，驅動單元帶動采集器逐步移動，使得采集部的中心部與校正區內的每個校正點均重合，所述采集器采集到激光光斑相對于每個校正點的位置偏差，所述采集器將所述位置偏差發送至所述光束調節單元，以調整所述激光束的方向。

2.根據權利要求1所述的激光設備，其特征在于，還包括控制單元和旋轉組件，所述控制單元連接所述旋轉組件。

3.根據權利要求2所述的激光設備，其特征在于，所述光束調節單元設置在所述旋轉組件上。

4.根據權利要求1所述的激光設備，其特征在于，當所述激光設備對所述晶片進行標記工作時，所述激光束照射至所述載臺上。

5.根據權利要求1所述的激光設備，其特征在于，所述采集器內設置有采集部，所述采集部為相機。

6.根據權利要求1所述的激光設備，其特征在于，所述反射鏡為平面反射鏡，所述反射鏡對所述激光束的反射率大于99.99％。

7.根據權利要求1所述的激光設備，其特征在于，還包括衰減器，所述衰減器位于所述激光器和所述擴束鏡之間。

8.根據權利要求1所述的激光設備，其特征在于，所述激光束的波長在540-560nm。