[發明專利]一種微波屏蔽管及磁場增強平板PECVD設備

有效

• 申請號: 202010710368.2
• 申請日: 2020-07-22
• 公開（公告）號: CN111690913B
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發明（設計）人: 周繼承;徐偉
• 申請（專利權）人: 中南大學
• 主分類號: C23C16/511
• 分類號: C23C16/511
• 代理公司: 北京東方盛凡知識產權代理有限公司 11562
• 代理人: 謝秀娟

1.一種微波屏蔽管及磁場增強平板式PECVD設備，其特征在于：包括殼體(9)、沿送料方向設置在所述殼體(9)內部的至少兩個等離子體發生裝置，所述等離子體發生裝置下方設置有基片臺(7)，所述等離子體發生裝置內部設置有同軸圓波導，所述等離子體發生裝置頂部設置有上進氣管(2)，所述等離子體發生裝置底部兩側設置有下進氣管(6)；所述殼體(9)底部連通有真空機組(10)；

所述同軸圓波導包括同軸設置的石英玻璃管(3)、銅天線(4)、微波屏蔽管(5)，所述石英玻璃管(3)在所述銅天線(4)外側，所述微波屏蔽管(5)設置在所述石英玻璃管(3)、銅天線(4)之間，所述微波屏蔽管(5)側壁上下兩端設有開口(501)；所述開口(501)為棱形，所述開口(501)棱形的小端設置在所述微波屏蔽管(5)兩端，所述開口(501)棱形的中部大端設置在所述微波屏蔽管(5)的中間。

2.根據權利要求1所述的一種微波屏蔽管及磁場增強平板式PECVD設備，其特征在于：所述等離子體發生裝置包括屏蔽罩(11)和設置在所述屏蔽罩(11)上表面的條形磁鐵(1)，所述屏蔽罩(11)的外側壁上設置有所述條形磁鐵(1)，所述上進氣管(2)設置在所述屏蔽罩(11)頂部，所述下進氣管(6)設置在所述屏蔽罩(11)底部兩側；所述屏蔽罩(11)的橫截面為等腰梯形。

3.根據權利要求2所述的一種微波屏蔽管及磁場增強平板式PECVD設備，其特征在于：所述殼體(9)、屏蔽罩(11)為無磁或弱磁的不銹鋼材料，所述不銹鋼材料為不銹鋼304、321、316、310中的任意一種。

4.根據權利要求2所述的一種微波屏蔽管及磁場增強平板式PECVD設備，其特征在于：所述條形磁鐵(1)為合金永磁材料或者鐵氧體永磁材料。

5.根據權利要求1所述的一種微波屏蔽管及磁場增強平板式PECVD設備，其特征在于：所述銅天線(4)、微波屏蔽管(5)材料為紫銅，所述銅天線(4)為實心圓柱，半徑范圍為3～5mm，所述銅天線(4)長度大于所述殼體(9)寬度，所述銅天線(4)兩端連接有微波源。

6.根據權利要求1所述的一種微波屏蔽管及磁場增強平板式PECVD設備，其特征在于：所述微波屏蔽管(5)內徑范圍為7～12mm，所述微波屏蔽管(5)外徑范圍為9～14mm，所述開口(501)為棱形，所述開口(501)棱形的小端設置在所述微波屏蔽管(5)兩端，所述開口(501)棱形的中部大端設置在所述微波屏蔽管(5)的中間。

7.根據權利要求1所述的一種微波屏蔽管及磁場增強平板式PECVD設備，其特征在于：所述石英玻璃管(3)介電常數在3.5～4.7之間，所述石英玻璃管(3)內徑范圍為10～15mm，所述石英玻璃管(3)外徑范圍為12～17mm，所述石英玻璃管(3)與大氣連通。

8.根據權利要求1所述的一種微波屏蔽管及磁場增強平板式PECVD設備，其特征在于：所述基片臺(7)下方設置有加熱板(8)。