[發明專利]一種超精密機床加工區域鈾含量循環凈化控制方法

有效

• 申請號: 202010707568.2
• 申請日: 2020-07-21
• 公開（公告）號: CN111941144B
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: 李國;趙學森;邢丕峰;杜凱;張海軍;王永紅;胡振江;黃燕華;孫濤;張強;宋成偉
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: B23Q11/12
• 分類號: B23Q11/12;B23Q11/00
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230
• 代理人: 陳仕超

1.一種超精密機床加工區域鈾含量循環凈化控制方法，其特征在于：包括通過氣管與超精密機床加工區域連接的油氣分離單元，所述油氣分離單元通過氣管依次連接有溫度控制單元、三級高效過濾單元和循環控制單元，所述循環控制單元通過氣管與超精密機床加工區域連接；

所述油氣分離單元用于過濾超精密機床加工區域內氣體中含雜的機床液壓油成份；

所述溫度控制單元用于實現流過氣體的溫度控制；

所述三級高效過濾單元用于過濾氣體中的含鈾雜質；

所述循環控制單元用于確保機床加工區域內氣體按照設定流量和流向循環流動，實現鈾含量的循環凈化。

2.根據權利要求1所述的一種超精密機床加工區域鈾含量循環凈化控制方法，其特征在于：所述油氣分離單元包括冷凍除油系統，所述冷凍除油系統包括通過氣管相互連接的制冷壓縮機和油氣冷凝器，所述制冷壓縮機通過氣管與超精密機床加工區域連接，所述油氣冷凝器通過氣管與溫度控制單元連接，所述油氣冷凝器和制冷壓縮機還通過導線連接有微電腦。

3.根據權利要求2所述的一種超精密機床加工區域鈾含量循環凈化控制方法，其特征在于：所述微電腦設定的溫度范圍為-65℃至-40℃，溫控精度為±3℃，冷凍除油系統可處理的最大氣體流量為150L/min，泄漏率小于10^-7Pa·L/s。

4.根據權利要求1所述的一種超精密機床加工區域鈾含量循環凈化控制方法，其特征在于：所述溫度控制單元包括電加熱線圈和溫度傳感器，所述電加熱線圈用于控制溫度控制單元的出口溫度，所述溫度傳感器用于檢測控制單元出口的溫度。

5.根據權利要求4所述的一種超精密機床加工區域鈾含量循環凈化控制方法，其特征在于：所述溫度控制單元的出口溫度控制范圍為18℃-23℃，溫控精度為±3℃。

6.根據權利要求5所述的一種超精密機床加工區域鈾含量循環凈化控制方法，其特征在于：所述溫度控制單元中的電加熱線圈加熱后的氣體溫度設定為20℃。

7.根據權利要求1所述的一種超精密機床加工區域鈾含量循環凈化控制方法，其特征在于：所述三級高效過濾單元包括通過氣管依次連接的預過濾器、初效過濾器和高效過濾器，所述高效過濾器與循環控制單元連接，所述預過濾器與溫度控制單元連接。

8.根據權利要求7所述的一種超精密機床加工區域鈾含量循環凈化控制方法，其特征在于：所述預過濾器、初效過濾器和高效過濾器的額定風量均為30-80m3/h，泄漏率均小于10^-7Pa·L/s；預過濾器的過濾等級為2μm-10μm、過濾效率≥85％、初阻力≤50Pa，初效過濾器的過濾等級為0.5μm-2μm、過濾效率≥99％、初阻力≤120Pa，高效過濾器的過濾等級≤0.02μm、過濾效率≥99.99％、初阻力≤250Pa。

9.根據權利要求1所述的一種超精密機床加工區域鈾含量循環凈化控制方法，其特征在于：所述循環控制單元包括通過氣管相互連接的循環風機和流量控制器，所述循環風機與三級高效過濾單元連接，所述流量控制器與超精密機床加工區域連接。

10.根據權利要求9所述的一種超精密機床加工區域鈾含量循環凈化控制方法，其特征在于：所述循環風機為高速變頻風機，所述高速變頻風機的流量范圍為0m³/h-100m³/h，所述流量控制器用于控制氣體的流速。