[發明專利]一種超精密機床加工區域水、氧含量循環凈化控制方法

在審

• 申請號: 202010706871.0
• 申請日: 2020-07-21
• 公開（公告）號: CN111974209A
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發明（設計）人: 李國;趙學森;胡振江;杜凱;張海軍;王永紅;黃燕華;孫濤;張強;宋成偉
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: B01D53/86
• 分類號: B01D53/86;B01D53/04;B01D50/00;B01D46/44;B01D46/00;B01D53/46
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230
• 代理人: 陳仕超

1.一種超精密機床加工區域水、氧含量循環凈化控制方法，其特征在于：包括通過氣管與超精密機床加工區域連接的預處理單元，所述預處理單元通過氣管依次連接有凈化單元和循環控制單元，所述循環控制單元通過氣管與超精密機床加工區域連接；

所述預處理單元用于預過濾處理超精密機床加工區域內流出的循環氣體；

所述凈化單元用于除去經過預處理單元后的循環氣體中的氧含量和水含量；

所述循環控制單元用于實現循環氣體按照設定流向循環流動。

2.根據權利要求1所述的一種超精密機床加工區域水、氧含量循環凈化控制方法，其特征在于：所述凈化單元包括通過氣管依次串聯的水凈化組件和氧凈化組件，所述水凈化組件通過氣管與預處理單元連接，所述氧凈化組件通過氣管與循環控制單元連接；所述水凈化組件用于吸附去除循環氣體中的水分子，所述氧凈化組件用于降低循環氣體中的氧含量。

3.根據權利要求2所述的一種超精密機床加工區域水、氧含量循環凈化控制方法，其特征在于：所述預處理單元與水凈化組件間的氣管上通過旁路管道連接有溶劑過濾組件，所述溶劑過濾組件通過旁路管道與水凈化組件連接。

4.根據權利要求3所述的一種超精密機床加工區域水、氧含量循環凈化控制方法，其特征在于：所述水凈化組件采用13X型分子篩；所述氧凈化組件以銅觸媒作為催化劑，利用銅觸媒的氧化反應降低氣體中的氧含量。

5.根據權利要求3所述的一種超精密機床加工區域水、氧含量循環凈化控制方法，其特征在于：所述溶劑過濾組件通過活性炭吸附去除超精密機床工作過程中冷卻液噴灑產生的有機溶劑成分。

6.根據權利要求1所述的一種超精密機床加工區域水、氧含量循環凈化控制方法，其特征在于：所述循環控制單元包括通過氣管依次連接的循環風機和檢測組件，所述循環風機與凈化單元連接，所述檢測組件與超精密機床加工區域連接。

7.根據權利要求6所述的一種超精密機床加工區域水、氧含量循環凈化控制方法，其特征在于：所述檢測組件為壓力傳感器或流量傳感器。

8.根據權利要求6所述的一種超精密機床加工區域水、氧含量循環凈化控制方法，其特征在于：所述循環風機采用變頻風機，所述變頻風機的流量范圍為0m³/h-100m³/h。

9.根據權利要求1所述的一種超精密機床加工區域水、氧含量循環凈化控制方法，其特征在于：所述預處理單元包括氣體過濾器，所述氣體過濾器的過濾等級為0.3μm-10μm。