[發明專利]光學系統、載體基板和用于制造光學系統的方法

在審

• 申請號: 202010700302.5
• 申請日: 2020-07-20
• 公開（公告）號: CN112241045A
• 公開（公告）日: 2021-01-19
• 發明（設計）人: C-A·馬尼爾;H-H·奧珀曼;K·佐希克;T·泰金
• 申請（專利權）人: 弗勞恩霍夫應用研究促進協會
• 主分類號: G02B6/122
• 分類號: G02B6/122;G02B6/12;G02B6/13;G02B6/136
• 代理公司: 北京龍雙利達知識產權代理有限公司 11329
• 代理人: 田玉珺;毛威

1.一種光學系統(400)，所述光學系統包括：

具有第一波導體(101)的第一光學部件(100)，和

載體基板(300)，其中所述第一光學部件(100)布置在所述載體基板(300)上，

其特征在于，

所述第一光學部件(100)具有帶有相對于所述第一波導體(101)的限定的位置和/或取向的第一標記組(110)，所述載體基板(300)具有第二標記組(310)，并且根據所述第一和第二標記組(110、310)的相對位置和/或取向，能夠檢測在平行于所述載體基板(300)的表面的參考平面內是否產生了所述第一波導體(101)相對于所述載體基板(300)的期望的對準。

2.根據權利要求1所述的光學系統(400)，其中，所述光學系統還包括布置在所述載體基板(300)上的第二光學部件(200)，所述第二光學部件具有能夠與所述第一波導體(101)光學耦合的第二波導體(201)。

3.根據權利要求2所述的光學系統(400)，其中，所述第二光學部件包括帶有相對于所述第二波導體(201)的限定的位置和/或取向的第三標記組(210)，并且根據所述標記組(110、210、310)中的至少兩個的相對位置和/或取向，能夠檢測所述第一和第二光學部件(100、200)是否在平行于所述載體基板(300)的表面的參考平面內相互對準，使得實現所述第一和第二波導體(101、201)的光學耦合。

4.根據權利要求2或3所述的光學系統，其中，所述第二光學部件還包括凹部(206)，所述第二光學部件(200)從前側(204)沿與所述前側(204)對置的后側(205)的方向至少部分地穿過所述凹部，其中所述第一光學部件(100)布置在所述凹部(206)內。

5.根據權利要求2至4中任一項所述的光學系統(400)，其中，所述載體基板(300)能夠從所述第一和第二光學部件(100、200)移除，并且其中以光學填充材料(404)填充所述第一波導體(101)和所述第二波導體(201)之間的間隙，和/或以澆注材料(405)填充所述第一光學部件(100)和所述第二光學部件(200)之間的間隙。

6.根據權利要求2至5中任一項所述的光學系統(400)，其中，在所述第一光學部件(100)的背對所述載體基板(300)的后側(105)施加犧牲結構(402)，和/或其中在所述第二光學部件(200)的朝向所述載體基板(300)的前側(204)施加帶有用于接收所述載體基板(300)的凹部(410)的輔助載體(403)，和/或其中將所述第一和第二光學部件(100、200)的表面變薄到共同的后側(406)。

7.根據前述權利要求中任一項所述的光學系統(400)，其中，所述載體基板(300)在特定波長范圍內，特別是在可見光和/或紫外和/或紅外波長范圍內，至少是部分透明和/或半透明的。

8.根據權利要求3至7中任一項所述的光學系統(400)，其中，所述第一波導體(101)與所述第一光學部件(100)的前側(104)相距第一距離，所述第二波導體(101)與所述第二光學部件(200)的前側(104)相距第二距離，所述第一和第二光學部件(100)的前側(104)朝向所述載體基板(300)，并且選擇第一和第二距離，使得由此調節第一和第二光學部件(100，200)沿垂直于所述載體基板(300)的表面的法向方向的相互相對位置和/或取向，使得實現所述第一和第二波導體(101、201)的所述光學耦合。