[發明專利]一種半導體電極材料的加工方法有效
| 申請號： | 202010698765.2 | 申請日： | 2020-07-20 |
| 公開（公告）號： | CN111834182B | 公開（公告）日： | 2022-08-30 |
| 發明（設計）人： | 李紅年;舒玉田;袁鵬;郭榮;譚飛鴻 | 申請（專利權）人： | 中國振華集團永光電子有限公司（國營第八七三廠） |
| 主分類號： | H01J9/04 | 分類號： | H01J9/04;H01J1/146 |
| 代理公司： | 貴州派騰知識產權代理有限公司 52114 | 代理人： | 周黎亞 |
| 地址： | 550018 貴州省*** | 國省代碼： | 貴州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 半導體 電極 材料 加工 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種半導體電極材料的加工方法，其特征在于，包括如下步驟：
1)灌膠：先將混合粘膠加熱調勻，制得熔融態的混合粘膠，然后將熔融態的混合粘膠灌進裝有半導體電極桿的鐵管中，經加壓、排氣，使得混合粘膠填充半導體電極桿間的縫隙；
2)切割；
3)雙面磨片；
4)去膠：將半導體電極片放入水中加熱，然后加入去膠材料，煮沸后保溫，再用自來水沖洗至表面無雜質；
5)端面腐蝕：采用硝酸對電極腐蝕1-2min，重復操作，清水洗凈后，千分尺抽檢電極，較腐蝕前高度尺寸小于0.01～0.015㎜即完成端面腐蝕；
6)拋光；
所述半導體電極材料為鎢電極材料、鉬電極材料、鎢鉬合金中任意一種；
所述混合粘膠由松香和蟲膠按(4.5-5)：(3.5-4)的質量比混合后，加熱至150-160℃后攪拌制成混合膠；
所述灌膠的溫度為140℃；
所述切割，其工藝條件為：切割鋼線為0.16㎜的鍍銅鋼絲，切割砂為1000號碳化硅微粉，切割油為DX-懸浮切割油；切割砂漿由切割油、切割砂按(1～1.5)：(0.8～1)的比例混合而成，切割線速度為：0.1～0.5㎜/min；
所述拋光，其工藝條件為：拋光液滾拋2-3h，拋光液由去污粉、水按(1-3)：100的質量比混合而成。
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