[發明專利]研磨頭氣動裝置及研磨頭

有效

• 申請號: 202010695429.2
• 申請日: 2020-07-17
• 公開（公告）號: CN111823129B
• 公開（公告）日: 2021-11-19
• 發明（設計）人: 魯容碩;張月;盧一泓;劉青
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所;真芯（北京）半導體有限責任公司
• 主分類號: B24B37/30
• 分類號: B24B37/30;B24B37/34
• 代理公司: 北京蘭亭信通知識產權代理有限公司 11667
• 代理人: 趙永剛

1.一種研磨頭氣動裝置，其特征在于，包括：

底部膜片；

邊緣側壁，設置在所述底部膜片上表面邊緣，所述邊緣側壁呈環形；

頂板，蓋設于所述邊緣側壁的頂部，以使所述底部膜片、邊緣側壁和頂板之間形成第一腔體；所述頂板上設置有供氣體通過的通道；

分隔結構，在所述第一腔體內呈環形設置，所述分隔結構的頂部與所述頂板抵接，所述分隔結構的底部與所述底部膜片抵接，以將所述第一腔體分隔為至少兩個能通過所述通道分別進行充氣的第二腔體；

其中，所述分隔結構包括第一側壁和第二側壁以及至少由所述第一側壁、第二側壁和底部膜片共同構成第三腔體。

2.如權利要求1所述研磨頭氣動裝置，其特征在于，所述第一側壁與所述第二側壁的頂部間隔距離小于所述第一側壁與所述第二側壁的底部間隔距離。

3.如權利要求2所述研磨頭氣動裝置，其特征在于，所述第一側壁的頂部與所述第二側壁的頂部連接，所述第一側壁的底部和所述第二側壁的底部與所述底部膜片的上表面連接，所述第一側壁、第二側壁和所述底部膜片形成沿垂直于所述底部膜片的截面為三角形的所述第三腔體。

4.如權利要求3所述研磨頭氣動裝置，其特征在于，所述分隔結構還包括第三側壁，所述第三側壁的底部與所述第一側壁和所述第二側壁頂部連接，所述第三側壁的頂部與所述頂板連接。

5.如權利要求1所述研磨頭氣動裝置，其特征在于，所述分隔結構的數量為多個，多個所述分隔結構由所述底部膜片的中心向所述底部膜片的邊緣依次間隔設置。

6.如權利要求1所述研磨頭氣動裝置，其特征在于，所述第三腔體內填充有氣體，所述氣體的比重與空氣的比重的比值不小于0.808。

7.如權利要求6所述研磨頭氣動裝置，其特征在于，所述第三腔體內填充有氮氣、空氣或比重大于空氣的氣體中的一種或幾種的混合物。

8.如權利要求1所述研磨頭氣動裝置，其特征在于，所述分隔結構的材質比重小于或等于所述底部膜片的材質比重。

9.如權利要求1所述研磨頭氣動裝置，其特征在于，所述分隔結構的材質硬度小于或等于所述底部膜片的材質硬度。

10.一種研磨頭，其特征在于，包括：

承載結構；

如權利要求1-9任意一項所述研磨頭氣動裝置，所述研磨頭氣動裝置與所述承載結構連接。