[發(fā)明專利]一種基于堿性拋光凝膠的晶體硅表面精細(xì)拋光方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010695074.7 | 申請(qǐng)日： | 2020-07-19 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN111690987B | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-11-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 夏慶華;黃成斌;姚偉明 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 湖州飛鹿新能源科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C30B33/10 | 分類(lèi)號(hào)： | C30B33/10;C30B29/06;H01L21/306;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 313100 浙江省湖州市長(zhǎng)興縣經(jīng)濟(jì)技*** | 國(guó)省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 堿性 拋光 凝膠 晶體 表面 精細(xì) 方法 | ||
1.一種基于堿性拋光凝膠的晶體硅表面精細(xì)拋光方法，其特征在于，包括以下步驟：
（1）預(yù)拋光：將硅研磨片浸入APM溶液中，進(jìn)行超聲波輔助清洗，得到表面帶有一層二氧化硅薄膜的預(yù)拋光片；
（2）表面涂膠：在預(yù)拋光片表面涂抹一層可光固化的堿性水凝膠，經(jīng)紫外光固化之后在預(yù)拋光片得到一層堿性交聯(lián)水凝膠層；
其中堿性水凝膠的配方如下：甲基丙烯酰胺基明膠10~20份、乙醇鈉10~15份、氫氧化六甲雙銨2~5份、三（丙烯酸）硼酸酯1~3份、氟化鉀1~3份、羧甲基纖維素鈉0.5~3份、表面活性劑0.5~1份、光引發(fā)劑0.1~0.5份以及水100份；
（3）精細(xì)拋光：升溫至一定溫度，對(duì)預(yù)拋光片表層進(jìn)行腐蝕拋光一定時(shí)間，然后剝離堿性交聯(lián)水凝膠層，得到拋光硅片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于堿性拋光凝膠的晶體硅表面精細(xì)拋光方法，其特征在于，所述步驟（1）中的APM溶液中氨水、雙氧水和水的體積比為（5~10）：（1~3）：100。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于堿性拋光凝膠的晶體硅表面精細(xì)拋光方法，其特征在于，所述步驟（2）中表面活性劑為硬脂酰谷氨酸鈉、硬脂酸鈉或者月桂基磺化琥珀酸單酯二鈉中的一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于堿性拋光凝膠的晶體硅表面精細(xì)拋光方法，其特征在于，所述步驟（2）中光引發(fā)劑為苯基-2,4,6-三甲基苯甲酰基膦酸鋰、雙(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦或者1,1'-(亞甲基二-4,1-亞苯基)雙[2-羥基-2-甲基-1-丙酮]中的一種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或4或5所述的一種基于堿性拋光凝膠的晶體硅表面精細(xì)拋光方法，其特征在于，所述步驟（2）中涂抹堿性水凝膠時(shí)的溫度為0~10℃，紫外光波段為365nm~405nm，光照時(shí)間為10~60s，堿性交聯(lián)水凝膠層的厚度為5~15mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于堿性拋光凝膠的晶體硅表面精細(xì)拋光方法，其特征在于，所述步驟（3）中在堿性交聯(lián)水凝膠層上下側(cè)連接電極并通直流電，其中在靠近預(yù)拋光片端為負(fù)極。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種基于堿性拋光凝膠的晶體硅表面精細(xì)拋光方法，其特征在于，直流電的電壓為6~12V，電流強(qiáng)度為0.1~0.5A。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或7或8所述的一種基于堿性拋光凝膠的晶體硅表面精細(xì)拋光方法，其特征在于，所述精細(xì)拋光的拋光溫度為55~75℃，精細(xì)拋光的拋光時(shí)間為100~1200s，精細(xì)拋光結(jié)束后使用去離子水沖洗晶體硅表面。
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