[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備及半導(dǎo)體清洗設(shè)備的緊急排水方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010693065.4
• 申請(qǐng)日: 2020-07-17
• 公開（公告）號(hào): CN111799196B
• 公開（公告）日: 2022-09-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔相龍;周娜;李琳;王佳;李俊杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所;真芯(北京)半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 北京天達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11386
• 代理人: 姚東華

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備及半導(dǎo)體清洗設(shè)備的緊急排水方法，屬于半導(dǎo)體清洗技術(shù)領(lǐng)域，解決了現(xiàn)有半導(dǎo)體清洗設(shè)備價(jià)格高昂，安裝周期長(zhǎng)，安全性差的問題。半導(dǎo)體清洗設(shè)備包括緊急排水裝置，緊急排水裝置包括廢水排水主管道，廢水排水主管道外設(shè)有液體傳感器，廢水排水主管道內(nèi)設(shè)有排水自動(dòng)閥門。半導(dǎo)體清洗設(shè)備的緊急排水方法是在半導(dǎo)體清洗設(shè)備的廢水排水主管道外設(shè)置液體傳感器，在半導(dǎo)體清洗設(shè)備的廢水排水主管道內(nèi)設(shè)置排水自動(dòng)閥門，通過液體傳感器檢測(cè)廢水排水主管道內(nèi)的漏液，液體傳感器檢測(cè)到漏液后，排水自動(dòng)閥門自動(dòng)開啟，進(jìn)行廢水排水主管道及與其連通的廢水排水支管道的排水。本發(fā)明的半導(dǎo)體清洗設(shè)備成本低，使用安全性高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體清洗技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備及半導(dǎo)體清洗設(shè)備的緊急排水方法。

背景技術(shù)

目前，半導(dǎo)體清洗設(shè)備使用化學(xué)液、清洗水等多種液體，使用后會(huì)經(jīng)由廢水排管排出，半導(dǎo)體清洗設(shè)備因Chemical Leak(化學(xué)品泄漏)事故導(dǎo)致人命及財(cái)產(chǎn)損失的情況越來越多，因此人們對(duì)環(huán)境安全越來越重視，所有清洗設(shè)備都連接緊急廢水排水管道，在發(fā)生漏水時(shí)進(jìn)行排水。由于緊急廢水排水管道是為了排出設(shè)備內(nèi)部出現(xiàn)問題時(shí)產(chǎn)生的廢水。緊急廢水排水管道在設(shè)備正常運(yùn)作時(shí)不排水，管道內(nèi)沒有液體流動(dòng)，因此當(dāng)緊急廢水排管與其他廢水排管同時(shí)連接時(shí)，液體或水汽會(huì)逆流而上，造成設(shè)備污染。為了防止這種情況的發(fā)生，以前使用U-trap(虹吸管)、Check valve(止回閥)等方法，但存在價(jià)格高昂及安裝周期較長(zhǎng)的問題。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述的分析，本發(fā)明旨在提供一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備及半導(dǎo)體清洗設(shè)備的緊急排水方法，至少能夠解決以下技術(shù)問題之一：(1)現(xiàn)有的半導(dǎo)體清洗設(shè)備價(jià)格高昂；(2)安裝周期長(zhǎng)；(3)現(xiàn)有的半導(dǎo)體清洗設(shè)備存在逆流的可能，安全性差。

本發(fā)明的目的主要是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

一方面，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備，其特征在于，包括緊急排水裝置，緊急排水裝置包括廢水排水主管道，廢水排水主管道外設(shè)有液體傳感器，廢水排水主管道內(nèi)設(shè)有排水自動(dòng)閥門。

進(jìn)一步地，還包括工藝室、內(nèi)置化學(xué)液緩存柜和外部化學(xué)藥品供液柜；工藝室、內(nèi)置化學(xué)液緩存柜和外部化學(xué)藥品供液柜的底部分別設(shè)有廢水排水支管道，廢水排水支管道的出口端與廢水排水主管道相連。

進(jìn)一步地，液體傳感器和排水自動(dòng)閥門的數(shù)量均為1個(gè)。

進(jìn)一步地，液體傳感器設(shè)置在靠近廢水排水支管道的一側(cè)，排水自動(dòng)閥門設(shè)置在遠(yuǎn)離廢水排水支管道的一側(cè)。

進(jìn)一步地，液體傳感器與排水自動(dòng)閥門通過繼電器連接。

進(jìn)一步地，液體傳感器是靜電容量傳感器。

進(jìn)一步地，半導(dǎo)體清洗設(shè)備還包括報(bào)警裝置，液體傳感器檢測(cè)到液體泄漏時(shí)，向報(bào)警裝置發(fā)送信號(hào)，報(bào)警裝置發(fā)出報(bào)警信號(hào)。

進(jìn)一步地，工藝室包括多個(gè)反應(yīng)腔體，工藝室的底部通過第一管道與內(nèi)置化學(xué)液緩存柜連接，第一管道上設(shè)有循環(huán)泵，用于實(shí)現(xiàn)內(nèi)置化學(xué)液緩存柜與工藝室中的液體的循環(huán)。

進(jìn)一步地，內(nèi)置化學(xué)液緩存柜與外部化學(xué)藥品供液柜通過第二管道連接，第二管道上設(shè)置有供液泵和控制器。

本發(fā)明還提供了一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備的緊急排水方法，其特征在于，在半導(dǎo)體清洗設(shè)備的廢水排水主管道外設(shè)置液體傳感器，在半導(dǎo)體清洗設(shè)備的廢水排水主管道內(nèi)設(shè)置排水自動(dòng)閥門，通過液體傳感器檢測(cè)廢水排水主管道內(nèi)的漏液，液體傳感器檢測(cè)到漏液后，排水自動(dòng)閥門自動(dòng)開啟，進(jìn)行廢水排水主管道及與其連通的廢水排水支管道的排水。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明至少可實(shí)現(xiàn)如下有益效果之一：